Matches in Wikidata for { <http://www.wikidata.org/entity/Q61735303> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 35 of
35
with 100 items per page.
- Q61735303 description "article published in 2013" @default.
- Q61735303 description "article scientifique publié en 2013" @default.
- Q61735303 description "im August 2013 veröffentlichter wissenschaftlicher Artikel" @default.
- Q61735303 description "wetenschappelijk artikel" @default.
- Q61735303 description "наукова стаття, опублікована в серпні 2013" @default.
- Q61735303 name "Yield estimation model for lithography hotspot distortions" @default.
- Q61735303 name "Yield estimation model for lithography hotspot distortions" @default.
- Q61735303 type Item @default.
- Q61735303 label "Yield estimation model for lithography hotspot distortions" @default.
- Q61735303 label "Yield estimation model for lithography hotspot distortions" @default.
- Q61735303 prefLabel "Yield estimation model for lithography hotspot distortions" @default.
- Q61735303 prefLabel "Yield estimation model for lithography hotspot distortions" @default.
- Q61735303 P1433 Q61735303-92723786-9215-4F6F-A13D-914C1E6A48D7 @default.
- Q61735303 P1476 Q61735303-FBE0EFCD-8E21-4632-8EF1-84A4C63CDA3A @default.
- Q61735303 P2093 Q61735303-EE6B5AD9-EF4A-46F6-9561-1EC4908AA8E4 @default.
- Q61735303 P304 Q61735303-F19F5ECB-2A22-4B63-ADDA-7AE2FD40D131 @default.
- Q61735303 P31 Q61735303-7ED4E656-6AE3-4948-AC30-929F02076B7A @default.
- Q61735303 P356 Q61735303-9DD4DA22-93BA-4093-86F9-9DB668DF07E0 @default.
- Q61735303 P407 Q61735303-00899E8F-AF49-450B-8DDF-F38BDA430224 @default.
- Q61735303 P433 Q61735303-2B94F4C3-F2B5-46CB-94AB-CAA0CEAF929D @default.
- Q61735303 P478 Q61735303-4F388711-598F-4C08-90F8-2BA5B1136549 @default.
- Q61735303 P50 Q61735303-63815A1F-609C-4DDC-8243-CA1BBA2FD655 @default.
- Q61735303 P577 Q61735303-96EB9D2F-D549-46A8-B03C-1D74323C64B5 @default.
- Q61735303 P356 EL.2013.0469 @default.
- Q61735303 P1433 Q5358479 @default.
- Q61735303 P1476 "Yield estimation model for lithography hotspot distortions" @default.
- Q61735303 P2093 "S. Gómez" @default.
- Q61735303 P304 "1066-1068" @default.
- Q61735303 P31 Q13442814 @default.
- Q61735303 P356 "10.1049/EL.2013.0469" @default.
- Q61735303 P407 Q1860 @default.
- Q61735303 P433 "17" @default.
- Q61735303 P478 "49" @default.
- Q61735303 P50 Q56955604 @default.
- Q61735303 P577 "2013-08-15T00:00:00Z" @default.