Matches in Wikidata for { <http://www.wikidata.org/entity/Q62977738> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 45 of
45
with 100 items per page.
- Q62977738 description "article scientifique publié en 2003" @default.
- Q62977738 description "wetenschappelijk artikel" @default.
- Q62977738 description "наукова стаття, опублікована в березні 2003" @default.
- Q62977738 name "ArF-excimer laser induced chemical vapour deposition of amorphous hydrogenated SiGeC films" @default.
- Q62977738 name "ArF-excimer laser induced chemical vapour deposition of amorphous hydrogenated SiGeC films" @default.
- Q62977738 type Item @default.
- Q62977738 label "ArF-excimer laser induced chemical vapour deposition of amorphous hydrogenated SiGeC films" @default.
- Q62977738 label "ArF-excimer laser induced chemical vapour deposition of amorphous hydrogenated SiGeC films" @default.
- Q62977738 prefLabel "ArF-excimer laser induced chemical vapour deposition of amorphous hydrogenated SiGeC films" @default.
- Q62977738 prefLabel "ArF-excimer laser induced chemical vapour deposition of amorphous hydrogenated SiGeC films" @default.
- Q62977738 P1433 Q62977738-9C36AE55-AC8A-41F8-9D00-8DE0A22CA112 @default.
- Q62977738 P1476 Q62977738-C9101E9E-E19D-4DAD-8952-AD7A6F849473 @default.
- Q62977738 P2093 Q62977738-27DCE637-423E-4965-AB9D-A4FD3FF6C46C @default.
- Q62977738 P2093 Q62977738-6737C578-01C1-4ECF-BDDE-AA732B875A77 @default.
- Q62977738 P2093 Q62977738-9636C6BB-9A68-422A-BB91-EC87034B16C4 @default.
- Q62977738 P2093 Q62977738-9E500415-FC6F-4AD9-9C81-0E9BD51DFB70 @default.
- Q62977738 P2093 Q62977738-CC7B7730-80C0-4C3E-8448-DDAB7912DCD7 @default.
- Q62977738 P2093 Q62977738-D9FE75D4-5E68-49D3-8015-1D69BCC92E09 @default.
- Q62977738 P2093 Q62977738-DCFB88F6-DBE9-4938-AD1D-A27E33A02E43 @default.
- Q62977738 P2860 Q62977738-662A2EC4-8097-4FEF-9E9D-7728ABCFC487 @default.
- Q62977738 P2860 Q62977738-F86F805B-5CAF-47B9-8C7E-1608BB0BD77C @default.
- Q62977738 P304 Q62977738-0FC6E985-BDF2-40B0-AD25-379A4AF2B5F2 @default.
- Q62977738 P31 Q62977738-E50E468C-437C-4D20-B3FC-50F625DC6F91 @default.
- Q62977738 P356 Q62977738-517BD76E-D22D-48DE-B891-16FE99D21A53 @default.
- Q62977738 P478 Q62977738-2A2E5E56-9EA8-441D-A98A-ADFF61564125 @default.
- Q62977738 P577 Q62977738-D2125A46-E9C0-4620-B715-4B17248B32AC @default.
- Q62977738 P921 Q62977738-C644E2D6-3E48-4B1C-9A9D-DF8425638555 @default.
- Q62977738 P356 S0169-4332(02)01426-5 @default.
- Q62977738 P1433 Q2772524 @default.
- Q62977738 P1476 "ArF-excimer laser induced chemical vapour deposition of amorphous hydrogenated SiGeC films" @default.
- Q62977738 P2093 "B. León" @default.
- Q62977738 P2093 "C. Serra" @default.
- Q62977738 P2093 "E. López" @default.
- Q62977738 P2093 "J. Serra" @default.
- Q62977738 P2093 "M. Pérez-Amor" @default.
- Q62977738 P2093 "P. González" @default.
- Q62977738 P2093 "S. Chiussi" @default.
- Q62977738 P2860 Q62977856 @default.
- Q62977738 P2860 Q62977939 @default.
- Q62977738 P304 "682-687" @default.
- Q62977738 P31 Q13442814 @default.
- Q62977738 P356 "10.1016/S0169-4332(02)01426-5" @default.
- Q62977738 P478 "208-209" @default.
- Q62977738 P577 "2003-03-01T00:00:00Z" @default.
- Q62977738 P921 Q241056 @default.