Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W1003482912> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 38 of
38
with 100 items per page.
- W1003482912 endingPage "37" @default.
- W1003482912 startingPage "35" @default.
- W1003482912 abstract "Technologia nanoszenia cienkich warstw za pomocą luku elektrycznego przy obnizonym ciśnieniu (vacuum arc) jest znana od wielu lat i coraz cześciej stosowana w badaniach naukowych i przemyśle [1]. Za pomocą tej technologii mozliwe jest wytwarzanie cienkich warstw praktycznie dowolnego metalu (w zalezności od skladu chemicznego katody) lub związkow chemicznych, np. tlenkow lub azotkow (w zalezności od skladu katody i stosowanego gazu roboczego). Glowną wadą wyladowan lukowych realizowanych w warunkach prozniowych, przy ich stosowaniu do nakladania cienkich warstw, jest wystepowanie mikro-kropel metalu, ktore osiadając na powierzchni substratu zaburzają jednorodnośc nakladanej warstwy. Ta wada moze czasami dyskwalifikowac omawianą metode technologiczną. Dla wyeliminowania tej wady projektuje sie specjalne uklady, tzw. filtry magnetyczne, ktorych zadaniem jest wyeliminowanie mikro-kropel z uzytkowego strumienia plazmy." @default.
- W1003482912 created "2016-06-24" @default.
- W1003482912 creator A5004017808 @default.
- W1003482912 creator A5034849284 @default.
- W1003482912 creator A5054266313 @default.
- W1003482912 creator A5067462659 @default.
- W1003482912 creator A5069451204 @default.
- W1003482912 creator A5079784127 @default.
- W1003482912 date "2005-01-01" @default.
- W1003482912 modified "2023-09-28" @default.
- W1003482912 title "Modelowanie rozkładu pól magnetycznych służących do prowadzenia wiązki plazmy powstającej w wyładowaniach łukowych" @default.
- W1003482912 cites W2116747218 @default.
- W1003482912 hasPublicationYear "2005" @default.
- W1003482912 type Work @default.
- W1003482912 sameAs 1003482912 @default.
- W1003482912 citedByCount "0" @default.
- W1003482912 crossrefType "journal-article" @default.
- W1003482912 hasAuthorship W1003482912A5004017808 @default.
- W1003482912 hasAuthorship W1003482912A5034849284 @default.
- W1003482912 hasAuthorship W1003482912A5054266313 @default.
- W1003482912 hasAuthorship W1003482912A5067462659 @default.
- W1003482912 hasAuthorship W1003482912A5069451204 @default.
- W1003482912 hasAuthorship W1003482912A5079784127 @default.
- W1003482912 hasConcept C121332964 @default.
- W1003482912 hasConcept C138885662 @default.
- W1003482912 hasConcept C27206212 @default.
- W1003482912 hasConceptScore W1003482912C121332964 @default.
- W1003482912 hasConceptScore W1003482912C138885662 @default.
- W1003482912 hasConceptScore W1003482912C27206212 @default.
- W1003482912 hasLocation W10034829121 @default.
- W1003482912 hasOpenAccess W1003482912 @default.
- W1003482912 hasPrimaryLocation W10034829121 @default.
- W1003482912 isParatext "false" @default.
- W1003482912 isRetracted "false" @default.
- W1003482912 magId "1003482912" @default.
- W1003482912 workType "article" @default.