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- W1520240570 endingPage "266" @default.
- W1520240570 startingPage "265" @default.
- W1520240570 abstract "主要介绍了一种Cu的CELT加工的化学刻蚀体系和捕捉体系,并通过控制刻蚀时间、刻蚀电流、刻蚀剂浓度、捕捉剂浓度等实验参数和优化电化学模板的制作工艺, 以规整的齿状结构为模板, 在Cu的表面实现了三维微结构的复制加工,得到了与齿状结构模板互补的三维微结构,用SEM 和AFM对实验结果进行了表征,表征结果证明约束刻蚀剂层技术在金属三维加工方面的可行性和潜在优势.金属Cu由于具有优良的导热导电性能以及很好的延展性,在微系统(也称微机电系统)中应用广泛,因此对Cu的刻蚀加工对微系统技术的发展具有重要的意义.约束刻蚀剂层技术(Confined Etch-ant Layer Technique 简称CELT)作为一种新型的微加工技术[1],能够加工复制出复杂三维结构,到目前为止,该技术已成功应用于Si 、GaAs等材料微结构的复制加工[2,3]." @default.
- W1520240570 created "2016-06-24" @default.
- W1520240570 creator A5012495877 @default.
- W1520240570 creator A5021580197 @default.
- W1520240570 creator A5029014856 @default.
- W1520240570 creator A5042815744 @default.
- W1520240570 creator A5052332328 @default.
- W1520240570 creator A5057759996 @default.
- W1520240570 creator A5059670222 @default.
- W1520240570 creator A5063609904 @default.
- W1520240570 creator A5075961016 @default.
- W1520240570 creator A5087751496 @default.
- W1520240570 creator A5089623688 @default.
- W1520240570 date "2003-08-25" @default.
- W1520240570 modified "2023-09-24" @default.
- W1520240570 title "金属Cu表面三维齿状微图形的复制加工——约束刻蚀剂层技术 (CELT)的应用" @default.
- W1520240570 hasPublicationYear "2003" @default.
- W1520240570 type Work @default.
- W1520240570 sameAs 1520240570 @default.
- W1520240570 citedByCount "0" @default.
- W1520240570 crossrefType "journal-article" @default.
- W1520240570 hasAuthorship W1520240570A5012495877 @default.
- W1520240570 hasAuthorship W1520240570A5021580197 @default.
- W1520240570 hasAuthorship W1520240570A5029014856 @default.
- W1520240570 hasAuthorship W1520240570A5042815744 @default.
- W1520240570 hasAuthorship W1520240570A5052332328 @default.
- W1520240570 hasAuthorship W1520240570A5057759996 @default.
- W1520240570 hasAuthorship W1520240570A5059670222 @default.
- W1520240570 hasAuthorship W1520240570A5063609904 @default.
- W1520240570 hasAuthorship W1520240570A5075961016 @default.
- W1520240570 hasAuthorship W1520240570A5087751496 @default.
- W1520240570 hasAuthorship W1520240570A5089623688 @default.
- W1520240570 hasConcept C95457728 @default.
- W1520240570 hasConceptScore W1520240570C95457728 @default.
- W1520240570 hasIssue "7" @default.
- W1520240570 hasLocation W15202405701 @default.
- W1520240570 hasOpenAccess W1520240570 @default.
- W1520240570 hasPrimaryLocation W15202405701 @default.
- W1520240570 hasVolume "40" @default.
- W1520240570 isParatext "false" @default.
- W1520240570 isRetracted "false" @default.
- W1520240570 magId "1520240570" @default.
- W1520240570 workType "article" @default.