FRINK Linked Data Fragments server

Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W1569407300> ?p ?o ?g. }

• W1569407300 endingPage "76" @default.
• W1569407300 startingPage "61" @default.
• W1569407300 abstract "This chapter contains sections titled: Introduction Gas Discharge Generation of UV (Excimer) Radiation Excimer Lamp Sources Based on Silent Discharges Predeposition Surface Cleaning for High-k Layers UV Photon Deposition of Ta2O5 Films Photoinduced Deposition of Hf1-xSixOy Layers Summary References" @default.
• W1569407300 created "2016-06-24" @default.
• W1569407300 creator A5023484746 @default.
• W1569407300 date "2012-08-22" @default.
• W1569407300 modified "2023-10-16" @default.
• W1569407300 title "UV Engineering of High-k Thin Films" @default.
• W1569407300 cites W1487069997 @default.
• W1569407300 cites W1965368032 @default.
• W1569407300 cites W1968120679 @default.
• W1569407300 cites W1970200102 @default.
• W1569407300 cites W1977258554 @default.
• W1569407300 cites W1977741730 @default.
• W1569407300 cites W1981544270 @default.
• W1569407300 cites W1984172757 @default.
• W1569407300 cites W1991965248 @default.
• W1569407300 cites W1993031882 @default.
• W1569407300 cites W1996107560 @default.
• W1569407300 cites W1998719028 @default.
• W1569407300 cites W2000367191 @default.
• W1569407300 cites W2000640270 @default.
• W1569407300 cites W2003645630 @default.
• W1569407300 cites W2015497343 @default.
• W1569407300 cites W2015770003 @default.
• W1569407300 cites W2018359939 @default.
• W1569407300 cites W2021048121 @default.
• W1569407300 cites W2021931615 @default.
• W1569407300 cites W2030264802 @default.
• W1569407300 cites W2034421332 @default.
• W1569407300 cites W2037655872 @default.
• W1569407300 cites W2038274823 @default.
• W1569407300 cites W2038295752 @default.
• W1569407300 cites W2039564728 @default.
• W1569407300 cites W2043330699 @default.
• W1569407300 cites W2046962943 @default.
• W1569407300 cites W2049090511 @default.
• W1569407300 cites W2056476971 @default.
• W1569407300 cites W2063231409 @default.
• W1569407300 cites W2067606486 @default.
• W1569407300 cites W2070937241 @default.
• W1569407300 cites W2071970716 @default.
• W1569407300 cites W2075582000 @default.
• W1569407300 cites W2076614108 @default.
• W1569407300 cites W2079499708 @default.
• W1569407300 cites W2081920240 @default.
• W1569407300 cites W2085659914 @default.
• W1569407300 cites W2086942390 @default.
• W1569407300 cites W2087212655 @default.
• W1569407300 cites W2089798672 @default.
• W1569407300 cites W2090195816 @default.
• W1569407300 cites W2091781355 @default.
• W1569407300 cites W2091944174 @default.
• W1569407300 cites W2120749366 @default.
• W1569407300 cites W4237908591 @default.
• W1569407300 doi "https://doi.org/10.1002/9783527646340.ch3" @default.
• W1569407300 hasPublicationYear "2012" @default.
• W1569407300 type Work @default.
• W1569407300 sameAs 1569407300 @default.
• W1569407300 citedByCount "0" @default.
• W1569407300 crossrefType "other" @default.
• W1569407300 hasAuthorship W1569407300A5023484746 @default.
• W1569407300 hasConcept C111337013 @default.
• W1569407300 hasConcept C120665830 @default.
• W1569407300 hasConcept C121332964 @default.
• W1569407300 hasConcept C127313418 @default.
• W1569407300 hasConcept C151730666 @default.
• W1569407300 hasConcept C153385146 @default.
• W1569407300 hasConcept C171250308 @default.
• W1569407300 hasConcept C185544564 @default.
• W1569407300 hasConcept C19067145 @default.
• W1569407300 hasConcept C192562407 @default.
• W1569407300 hasConcept C2780477314 @default.
• W1569407300 hasConcept C2816523 @default.
• W1569407300 hasConcept C49040817 @default.
• W1569407300 hasConcept C520434653 @default.
• W1569407300 hasConcept C64297162 @default.
• W1569407300 hasConcept C74561354 @default.
• W1569407300 hasConcept C91881484 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C111337013 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C120665830 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C121332964 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C127313418 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C151730666 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C153385146 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C171250308 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C185544564 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C19067145 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C192562407 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C2780477314 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C2816523 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C49040817 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C520434653 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C64297162 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C74561354 @default.
• W1569407300 hasConceptScore W1569407300C91881484 @default.
• W1569407300 hasLocation W15694073001 @default.
• W1569407300 hasOpenAccess W1569407300 @default.
• W1569407300 hasPrimaryLocation W15694073001 @default.
• W1569407300 hasRelatedWork W1980459324 @default.

• next