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- W1584867597 abstract "차세대 리소그래피 기술인 극자외선 (EUV ; Extreme UltraViolet) 빛샘 연구의 기초단계로써, 동축타입의 전극구조가 설치된 다이오드 챔버를 통해 Ar 플라스마를 생성하였으며, 방출 분광기술(emission spectroscopy)를 이용하여 방출된 가시광선 영역의 빛을 조사하였다. 장치의 입력 전압을 0.5 ㎸씩 변화를 주어 2 ~ 3.5 ㎸까지 인가를 했으며 이극챔버의 최적 압력인 330 mTorr 일 때 각 전압에 따른 방출 분광선 데이터를 얻었다. 이때 Ar Ⅰ과 Ar Ⅱ 방출선을 관측하였으며 국소적인 열적평형(LTE ; Local Thermodynamic Equilibrium) 상태의 가정 하에 볼츠만 도표(Boltzmann plot)와 사하(Saha) 방정식을 이용해 Ar Ⅰ 및 Ar Ⅱ의 전자온도와 이온밀도를 각각 계산하였다. 각 입력전압에 대해 이온밀도는 Ar Ⅰ과 Ar Ⅱ에서 각각 ~10¹?/cc 및 ~10¹³/cc의 값으로 계산되었다." @default.
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