FRINK Linked Data Fragments server

Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W1668293622> ?p ?o ?g. }

• W1668293622 endingPage "2234" @default.
• W1668293622 startingPage "2232" @default.
• W1668293622 abstract "We have studied the characteristics of reactive ion etching for zinc telluride using CH4 and H2 gases. The effects of CH4/H2 gas composition, total gas pressure, and plasma power on the etching properties were investigated. It was found that variation of the CH4 concentration in gas mixtures leads to changes in both the etching rate and the surface morphology. The etching rate of ZnTe increases from 128 to 629 Å/min with increasing the plasma power from 50 to 300 W at a 4% CH4 concentration and 25 Pa pressure. A smooth etched ZnTe surface was obtained in the range of 4%–16% CH4 concentration and 10–65 Pa pressure." @default.
• W1668293622 created "2016-06-24" @default.
• W1668293622 creator A5002456360 @default.
• W1668293622 creator A5008497740 @default.
• W1668293622 creator A5044092966 @default.
• W1668293622 creator A5054791589 @default.
• W1668293622 creator A5059436331 @default.
• W1668293622 creator A5069675237 @default.
• W1668293622 creator A5078655626 @default.
• W1668293622 creator A5090545680 @default.
• W1668293622 date "2001-09-01" @default.
• W1668293622 modified "2023-10-18" @default.
• W1668293622 title "Characteristics of reactive ion etching for zinc telluride using CH4 and H2 gases" @default.
• W1668293622 cites W1622133051 @default.
• W1668293622 cites W1965004839 @default.
• W1668293622 cites W1965774527 @default.
• W1668293622 cites W1969606203 @default.
• W1668293622 cites W1975625230 @default.
• W1668293622 cites W1996351682 @default.
• W1668293622 cites W2012828785 @default.
• W1668293622 cites W2030110103 @default.
• W1668293622 cites W2041247619 @default.
• W1668293622 cites W2049193482 @default.
• W1668293622 cites W2071619186 @default.
• W1668293622 cites W2081101340 @default.
• W1668293622 cites W2127638614 @default.
• W1668293622 doi "https://doi.org/10.1116/1.1379802" @default.
• W1668293622 hasPublicationYear "2001" @default.
• W1668293622 type Work @default.
• W1668293622 sameAs 1668293622 @default.
• W1668293622 citedByCount "21" @default.
• W1668293622 countsByYear W16682936222012 @default.
• W1668293622 countsByYear W16682936222013 @default.
• W1668293622 countsByYear W16682936222016 @default.
• W1668293622 crossrefType "journal-article" @default.
• W1668293622 hasAuthorship W1668293622A5002456360 @default.
• W1668293622 hasAuthorship W1668293622A5008497740 @default.
• W1668293622 hasAuthorship W1668293622A5044092966 @default.
• W1668293622 hasAuthorship W1668293622A5054791589 @default.
• W1668293622 hasAuthorship W1668293622A5059436331 @default.
• W1668293622 hasAuthorship W1668293622A5069675237 @default.
• W1668293622 hasAuthorship W1668293622A5078655626 @default.
• W1668293622 hasAuthorship W1668293622A5090545680 @default.
• W1668293622 hasConcept C100460472 @default.
• W1668293622 hasConcept C107187091 @default.
• W1668293622 hasConcept C107872376 @default.
• W1668293622 hasConcept C113196181 @default.
• W1668293622 hasConcept C121332964 @default.
• W1668293622 hasConcept C127413603 @default.
• W1668293622 hasConcept C130472188 @default.
• W1668293622 hasConcept C145148216 @default.
• W1668293622 hasConcept C171250308 @default.
• W1668293622 hasConcept C175721412 @default.
• W1668293622 hasConcept C178790620 @default.
• W1668293622 hasConcept C185592680 @default.
• W1668293622 hasConcept C191897082 @default.
• W1668293622 hasConcept C192562407 @default.
• W1668293622 hasConcept C2778397788 @default.
• W1668293622 hasConcept C2779227376 @default.
• W1668293622 hasConcept C2987918405 @default.
• W1668293622 hasConcept C535196362 @default.
• W1668293622 hasConcept C62520636 @default.
• W1668293622 hasConcept C78762247 @default.
• W1668293622 hasConcept C82706917 @default.
• W1668293622 hasConcept C97355855 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C100460472 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C107187091 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C107872376 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C113196181 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C121332964 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C127413603 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C130472188 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C145148216 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C171250308 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C175721412 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C178790620 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C185592680 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C191897082 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C192562407 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C2778397788 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C2779227376 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C2987918405 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C535196362 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C62520636 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C78762247 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C82706917 @default.
• W1668293622 hasConceptScore W1668293622C97355855 @default.
• W1668293622 hasIssue "5" @default.
• W1668293622 hasLocation W16682936221 @default.
• W1668293622 hasOpenAccess W1668293622 @default.
• W1668293622 hasPrimaryLocation W16682936221 @default.
• W1668293622 hasRelatedWork W1976268392 @default.
• W1668293622 hasRelatedWork W1986576582 @default.
• W1668293622 hasRelatedWork W2003109426 @default.
• W1668293622 hasRelatedWork W2003829426 @default.
• W1668293622 hasRelatedWork W2011001474 @default.
• W1668293622 hasRelatedWork W2035159056 @default.
• W1668293622 hasRelatedWork W2093286625 @default.

• next