Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W1674688552> ?p ?o ?g. }
- W1674688552 abstract "Wet and Dry Etching MaterialsDefinition of termsDry Etching of CopperSilicon MaterialsDry etch chemistriesMechanismsKeywords:chromium;tungsten;nitrogen trifluoride;argon;platinum;palladium;tantalum;titanium;single-crystal silicon;polysilicon;silicon dioxide" @default.
- W1674688552 created "2016-06-24" @default.
- W1674688552 creator A5044880281 @default.
- W1674688552 creator A5083135428 @default.
- W1674688552 creator A5089584309 @default.
- W1674688552 date "2002-07-15" @default.
- W1674688552 modified "2023-09-26" @default.
- W1674688552 title "Wet and Dry Etching Materials" @default.
- W1674688552 cites W1488847324 @default.
- W1674688552 cites W155311247 @default.
- W1674688552 cites W1585762288 @default.
- W1674688552 cites W1963882891 @default.
- W1674688552 cites W1967709316 @default.
- W1674688552 cites W1967916204 @default.
- W1674688552 cites W1971673580 @default.
- W1674688552 cites W1971710470 @default.
- W1674688552 cites W1973192805 @default.
- W1674688552 cites W1976347795 @default.
- W1674688552 cites W1976373703 @default.
- W1674688552 cites W1976709576 @default.
- W1674688552 cites W1978119121 @default.
- W1674688552 cites W1978999372 @default.
- W1674688552 cites W1980138169 @default.
- W1674688552 cites W1980267374 @default.
- W1674688552 cites W1981411361 @default.
- W1674688552 cites W1984277646 @default.
- W1674688552 cites W1986863230 @default.
- W1674688552 cites W1988589820 @default.
- W1674688552 cites W1990319842 @default.
- W1674688552 cites W1992249998 @default.
- W1674688552 cites W1994502785 @default.
- W1674688552 cites W1994560806 @default.
- W1674688552 cites W1996413284 @default.
- W1674688552 cites W1997441453 @default.
- W1674688552 cites W2005571369 @default.
- W1674688552 cites W2006267650 @default.
- W1674688552 cites W2007536429 @default.
- W1674688552 cites W2007858833 @default.
- W1674688552 cites W2008485073 @default.
- W1674688552 cites W2010337360 @default.
- W1674688552 cites W2010789490 @default.
- W1674688552 cites W2010874052 @default.
- W1674688552 cites W2013590185 @default.
- W1674688552 cites W2014196934 @default.
- W1674688552 cites W2015120990 @default.
- W1674688552 cites W2016307904 @default.
- W1674688552 cites W2016512764 @default.
- W1674688552 cites W2017550361 @default.
- W1674688552 cites W2019748790 @default.
- W1674688552 cites W2019889419 @default.
- W1674688552 cites W2021385573 @default.
- W1674688552 cites W2023059483 @default.
- W1674688552 cites W2025661351 @default.
- W1674688552 cites W2026302879 @default.
- W1674688552 cites W2027343618 @default.
- W1674688552 cites W2027482992 @default.
- W1674688552 cites W2027850644 @default.
- W1674688552 cites W2028816987 @default.
- W1674688552 cites W2029852286 @default.
- W1674688552 cites W2030253129 @default.
- W1674688552 cites W2030652252 @default.
- W1674688552 cites W2030958379 @default.
- W1674688552 cites W2032546038 @default.
- W1674688552 cites W2034015143 @default.
- W1674688552 cites W2035751218 @default.
- W1674688552 cites W2037087878 @default.
- W1674688552 cites W2037389677 @default.
- W1674688552 cites W2038510225 @default.
- W1674688552 cites W2041055063 @default.
- W1674688552 cites W2044092976 @default.
- W1674688552 cites W2044833726 @default.
- W1674688552 cites W2045506071 @default.
- W1674688552 cites W2046890531 @default.
- W1674688552 cites W2049360569 @default.
- W1674688552 cites W2049933932 @default.
- W1674688552 cites W2053502434 @default.
- W1674688552 cites W2054969633 @default.
- W1674688552 cites W2056321236 @default.
- W1674688552 cites W2057451009 @default.
- W1674688552 cites W2057827283 @default.
- W1674688552 cites W2058471384 @default.
- W1674688552 cites W2058935319 @default.
- W1674688552 cites W2066087648 @default.
- W1674688552 cites W2066330480 @default.
- W1674688552 cites W2066488861 @default.
- W1674688552 cites W2066578764 @default.
- W1674688552 cites W2067639946 @default.
- W1674688552 cites W2068547867 @default.
- W1674688552 cites W2069423503 @default.
- W1674688552 cites W2070058744 @default.
- W1674688552 cites W2070493924 @default.
- W1674688552 cites W2071901712 @default.
- W1674688552 cites W2072291818 @default.
- W1674688552 cites W2073817762 @default.
- W1674688552 cites W2075914774 @default.
- W1674688552 cites W2076243930 @default.
- W1674688552 cites W2076823209 @default.
- W1674688552 cites W2077244337 @default.
- W1674688552 cites W2078004366 @default.
- W1674688552 cites W2078576744 @default.