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- W1789947507 abstract "Die Arbeit behandelt die Berechnung, Herstellung und Anwendung Diffraktiver Optischer Elemente (DOEs), deren Zusammenspiel eine Vielzahl neuer Probleme offenbarte, die in dieser Form zuvor noch nicht behandelt wurden. Ziel war die Verbindung dieser Teilgebiete zu einer Gesamtkette, um eine Qualitatsverbesserung der DOEs zu erreichen und dadurch neue Anwendungsfelder zu erschliesen. Im Rahmen dieser Arbeit wurden DOEs fur eine Reihe von Anwendungen konzipiert, die im Detail besprochen werden und an denen die Wichtigkeit der Verbindung von Design und Herstellung eindrucklich demonstriert werden kann. Am Beispiel des neuartigen Dual-Layer DVD Pickup-Systems wird deutlich, wie effizient der Einsatz von DOEs vor allem auch in Low-Cost Systemen sein kann. Weitere vorgestellte Anwendungen sind z.B. die Speckle-Reduktion fur Laser-TV, sowie zwei Anwendungen fur Hochleistungsdiodenlaser: die aspharische Korrektur von Linsen mit Subwellenlangen-Gittern und die Strahlumordnung mit Arrays von geblazten Gittern. Die wichtigsten bestehenden Berechnungsverfahren (analytische und iterative) fur DOEs wurden untersucht, modifiziert und erweitert (z.B. Finite-Elemente Methode). Es wurden neue Optimierungsalgorithmen (u.a. fur Fan-Out Elemente und geblazte Liniengitter) entwickelt, die Einschrankungen und Fehler einbeziehen, die sich durch die Herstellung zwangslaufig ergeben, wodurch sie deutlich hohere Beugungseffizienzen erreichen konnen. Umgekehrt wurden, von der Anwendung ausgehend, Anforderungen formuliert und auf die Herstellungstechnik ubertragen. Hierzu wurde ein Laserlithographiesystem entwickelt, mit dem qualitativ hochwertige DOEs mit hoher Auflosung (Spotdurchmesser ca. 700-900 nm, Positioniergenauigkeit: 20 nm) hergestellt werden konnten. Durch die Implementation eines vektoriellen Schreibmodus konnte eine sehr prazise Darstellung von Kurven erreicht werden. Zur axial und lateral hochauflosenden Vermessung hergestellter Strukturen wurde ein Weislichtinterferenz-Mikroskop aufgebaut an dem verschiedene Mesverfahren untersucht und auf ihre Eignung zur Vermessung der Topographien der hergestellten DOEs beurteilt wurden." @default.
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