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- W1851488206 abstract "Hochreine Vakuumkomponenten und -baugruppen bilden die Grundlage für eine Reihe moderner Hochtechnologieanwendungen z. B. in der Halbleiterindustrie, an Teilchenbeschleunigern und in der Oberflächenanalytik. Für diese Anwendungen sind insbesondere auf den Bauteiloberflächen anhaftende Partikel und die Oberflächendesorption von Wasser und organischen Verbindungen kritisch, da sie die sensiblen Prozesse im Ultrahochvakuum (UHV) und Ultra-Clean-Vacuum (UCV) empfindlich stören können. In diesem Beitrag werden einige etablierte Reinigungs- und Oberflächenbehandlungsmethoden im Hinblick auf ihre Wirkung zur Reduzierung der Partikelkontamination und Ausgasung von Wasser und organischen Verbindungen von Edelstahloberflächen diskutiert. Dabei wird verdeutlicht, dass die erzielte Reinheit stark von den Behandlungsschritten während der Oberflächenbearbeitung und anschließenden Reinigung abhängt und diese entsprechend der spezifischen Anforderungen des späteren Einsatzgebietes geeignet gewählt werden müssen. Cleaning of vacuum components for UHV and UCV applications Ultra-clean vacuum components and assemblies are fundamental to some cutting edge high-tech sectors like semiconductor industry, particle accelerators, and surface analytics. Exceptionally critical for these applications are particles that stick at the vacuum facing surfaces as well as desorption of water and hydrocarbons from the surfaces into the system, because this may interfere with the sensitive ultra-high vacuum (UHV) and ultra-clean vacuum (UCV) processes. In this contribution, some established cleaning methods and surface treatments are discussed with respect to their effect on reducing particle contamination and outgassing of water and organic compounds from stainless steel surfaces. It is clarified that the resulting cleanliness severely depends on the detailed steps during the surface treatment and subsequent cleaning. As a consequence, the discussed methods should be chosen and adapted with great care according to the specific demands of the final application area." @default.
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