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- W1907200470 abstract "Die vorliegende Dissertation befasst sich mit der Analyse der Volumenprozesse bei der Schichtabscheidung via Plasmapolymerisation in einem mikrowellenangeregten Hexamethyldisiloxan(HMDSO)/Argon/Sauerstoff-Plasma im Druckbereich zwischen 0.1 mbar und 1 mbar. Leitidee ist die Analyse des Energieflusses durch elektromagnetische Felder in das Elektronengas, damit zu den schweren Teilchen und schlieslich zu den Wanden des Reaktors. Die Wechselwirkung zwischen den Elektronen und den schweren Teilchen wird mittels eines im Rahmen der Doktorarbeit entwickelten globalen Modells erklart. In Argon-reichen Plasmen fuhrt der Energieweg in Richtung Ionisation, aber auch in Richtung Strahlung und, so dass nur ein Bruchteil der eingespeisten Energie nicht sofort verloren geht. Hingegen wirken die sauerstoffreichen Plasmen als eine Art Energiereservoir: die energetisch gunstigen Dissoziation- und Anregungskanale verlangsamen den Energieverlust des Plasmas. Die Messergebnisse in Plasmen mit Hexamethyldisiloxan bestatigen die in Plasmen ohne Monomer identifizierten Tendenzen. Die Vernichtungsrate des Monomers im Plasmavolumen steigt nicht nur mit der eingespeisten Leistung, sondern auch mit dem Sauerstoffanteil in Puffergas an. Die vom Sauerstoff gespeicherte Energie spielt eine entscheidende Rolle bei der Verarbeitung des Monomers. Die in der Fachliteratur veroffentlichten Ergebnisse uber die Schichtabscheidungsrate und Schichteigenschaften in Hexamethyldisiloxan Plasmen stehen mit dieser Parametrisierung im Einklang." @default.
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