FRINK Linked Data Fragments server

Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W1966366921> ?p ?o ?g. }

• W1966366921 endingPage "547" @default.
• W1966366921 startingPage "539" @default.
• W1966366921 abstract "A 5 Å tantalum nitride (TaNx) thin film was deposited between the Hf- or Zr-doped TaOx high dielectric constant (high-k) film and silicon wafer to hinder the formation of the SiOx interface layer during the subsequent high-temperature annealing step. This interface contributes to the lower leakage current density, higher dielectric constant, and larger charge trapping. The improvement is attributed to the formation of the TaOxNy interfacial layer, which was confirmed by secondary ion mass spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy." @default.
• W1966366921 created "2016-06-24" @default.
• W1966366921 creator A5041530141 @default.
• W1966366921 creator A5062601761 @default.
• W1966366921 creator A5079609274 @default.
• W1966366921 creator A5083727041 @default.
• W1966366921 date "2004-06-01" @default.
• W1966366921 modified "2023-10-15" @default.
• W1966366921 title "Effects of the TaNx interface layer on doped tantalum oxide high-k films" @default.
• W1966366921 cites W1525700205 @default.
• W1966366921 cites W1588557269 @default.
• W1966366921 cites W1629618037 @default.
• W1966366921 cites W1981727916 @default.
• W1966366921 cites W1986407598 @default.
• W1966366921 cites W1989440480 @default.
• W1966366921 cites W1989929372 @default.
• W1966366921 cites W2050322052 @default.
• W1966366921 cites W2073219871 @default.
• W1966366921 cites W2079496281 @default.
• W1966366921 cites W2079499708 @default.
• W1966366921 cites W2086835014 @default.
• W1966366921 cites W2090641881 @default.
• W1966366921 cites W2101781928 @default.
• W1966366921 cites W2137181576 @default.
• W1966366921 doi "https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2004.01.025" @default.
• W1966366921 hasPublicationYear "2004" @default.
• W1966366921 type Work @default.
• W1966366921 sameAs 1966366921 @default.
• W1966366921 citedByCount "9" @default.
• W1966366921 countsByYear W19663669212015 @default.
• W1966366921 countsByYear W19663669212017 @default.
• W1966366921 crossrefType "journal-article" @default.
• W1966366921 hasAuthorship W1966366921A5041530141 @default.
• W1966366921 hasAuthorship W1966366921A5062601761 @default.
• W1966366921 hasAuthorship W1966366921A5079609274 @default.
• W1966366921 hasAuthorship W1966366921A5083727041 @default.
• W1966366921 hasConcept C113196181 @default.
• W1966366921 hasConcept C127413603 @default.
• W1966366921 hasConcept C133386390 @default.
• W1966366921 hasConcept C159985019 @default.
• W1966366921 hasConcept C160671074 @default.
• W1966366921 hasConcept C16317505 @default.
• W1966366921 hasConcept C171250308 @default.
• W1966366921 hasConcept C175708663 @default.
• W1966366921 hasConcept C185592680 @default.
• W1966366921 hasConcept C19067145 @default.
• W1966366921 hasConcept C191897082 @default.
• W1966366921 hasConcept C192562407 @default.
• W1966366921 hasConcept C194760766 @default.
• W1966366921 hasConcept C2777855556 @default.
• W1966366921 hasConcept C2778112282 @default.
• W1966366921 hasConcept C2779227376 @default.
• W1966366921 hasConcept C2779851234 @default.
• W1966366921 hasConcept C42360764 @default.
• W1966366921 hasConcept C43617362 @default.
• W1966366921 hasConcept C49040817 @default.
• W1966366921 hasConcept C514619126 @default.
• W1966366921 hasConcept C544956773 @default.
• W1966366921 hasConcept C57863236 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C113196181 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C127413603 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C133386390 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C159985019 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C160671074 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C16317505 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C171250308 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C175708663 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C185592680 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C19067145 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C191897082 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C192562407 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C194760766 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C2777855556 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C2778112282 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C2779227376 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C2779851234 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C42360764 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C43617362 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C49040817 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C514619126 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C544956773 @default.
• W1966366921 hasConceptScore W1966366921C57863236 @default.
• W1966366921 hasIssue "3-4" @default.
• W1966366921 hasLocation W19663669211 @default.
• W1966366921 hasOpenAccess W1966366921 @default.
• W1966366921 hasPrimaryLocation W19663669211 @default.
• W1966366921 hasRelatedWork W1981727916 @default.
• W1966366921 hasRelatedWork W2007973584 @default.
• W1966366921 hasRelatedWork W202750941 @default.
• W1966366921 hasRelatedWork W2054337863 @default.
• W1966366921 hasRelatedWork W2077168050 @default.
• W1966366921 hasRelatedWork W2079892311 @default.
• W1966366921 hasRelatedWork W2125602342 @default.
• W1966366921 hasRelatedWork W2500347771 @default.
• W1966366921 hasRelatedWork W2615011864 @default.
• W1966366921 hasRelatedWork W3084175157 @default.
• W1966366921 hasVolume "74" @default.
• W1966366921 isParatext "false" @default.

• next