Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W1966666795> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 84 of
84
with 100 items per page.
- W1966666795 endingPage "402" @default.
- W1966666795 startingPage "402" @default.
- W1966666795 abstract "We have used the deep-UV output from an ArF laser and a grating mask with 199-nm spatial period to fabricate a 99.5-nm-period grating pattern in polymethyl methacrylate resist by spatial-period division. For sub 100 nm, lithography of periodic and quasi-periodic patterns (including Fresnel zone plates) by spatial-period division, deep-UV radiation offers a number of advantages over soft x rays." @default.
- W1966666795 created "2016-06-24" @default.
- W1966666795 creator A5002290307 @default.
- W1966666795 creator A5029108154 @default.
- W1966666795 creator A5047618239 @default.
- W1966666795 creator A5055140370 @default.
- W1966666795 date "1982-09-01" @default.
- W1966666795 modified "2023-10-02" @default.
- W1966666795 title "Deep-ultraviolet spatial-period division using an excimer laser" @default.
- W1966666795 cites W1971206451 @default.
- W1966666795 cites W2024108948 @default.
- W1966666795 cites W2069139129 @default.
- W1966666795 doi "https://doi.org/10.1364/ol.7.000402" @default.
- W1966666795 hasPubMedId "https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/19714036" @default.
- W1966666795 hasPublicationYear "1982" @default.
- W1966666795 type Work @default.
- W1966666795 sameAs 1966666795 @default.
- W1966666795 citedByCount "16" @default.
- W1966666795 countsByYear W19666667952015 @default.
- W1966666795 countsByYear W19666667952022 @default.
- W1966666795 countsByYear W19666667952023 @default.
- W1966666795 crossrefType "journal-article" @default.
- W1966666795 hasAuthorship W1966666795A5002290307 @default.
- W1966666795 hasAuthorship W1966666795A5029108154 @default.
- W1966666795 hasAuthorship W1966666795A5047618239 @default.
- W1966666795 hasAuthorship W1966666795A5055140370 @default.
- W1966666795 hasConcept C100921725 @default.
- W1966666795 hasConcept C105487726 @default.
- W1966666795 hasConcept C120665830 @default.
- W1966666795 hasConcept C121332964 @default.
- W1966666795 hasConcept C126753812 @default.
- W1966666795 hasConcept C153385146 @default.
- W1966666795 hasConcept C171250308 @default.
- W1966666795 hasConcept C192562407 @default.
- W1966666795 hasConcept C200274948 @default.
- W1966666795 hasConcept C204223013 @default.
- W1966666795 hasConcept C24890656 @default.
- W1966666795 hasConcept C2777813233 @default.
- W1966666795 hasConcept C2779227376 @default.
- W1966666795 hasConcept C2780477314 @default.
- W1966666795 hasConcept C2781291010 @default.
- W1966666795 hasConcept C49040817 @default.
- W1966666795 hasConcept C520434653 @default.
- W1966666795 hasConcept C53524968 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C100921725 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C105487726 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C120665830 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C121332964 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C126753812 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C153385146 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C171250308 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C192562407 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C200274948 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C204223013 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C24890656 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C2777813233 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C2779227376 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C2780477314 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C2781291010 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C49040817 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C520434653 @default.
- W1966666795 hasConceptScore W1966666795C53524968 @default.
- W1966666795 hasIssue "9" @default.
- W1966666795 hasLocation W19666667951 @default.
- W1966666795 hasLocation W19666667952 @default.
- W1966666795 hasOpenAccess W1966666795 @default.
- W1966666795 hasPrimaryLocation W19666667951 @default.
- W1966666795 hasRelatedWork W1963961126 @default.
- W1966666795 hasRelatedWork W1971705391 @default.
- W1966666795 hasRelatedWork W2032032006 @default.
- W1966666795 hasRelatedWork W2068428829 @default.
- W1966666795 hasRelatedWork W2081407266 @default.
- W1966666795 hasRelatedWork W2082769316 @default.
- W1966666795 hasRelatedWork W2101867114 @default.
- W1966666795 hasRelatedWork W2158828082 @default.
- W1966666795 hasRelatedWork W1990113927 @default.
- W1966666795 hasRelatedWork W2092615139 @default.
- W1966666795 hasVolume "7" @default.
- W1966666795 isParatext "false" @default.
- W1966666795 isRetracted "false" @default.
- W1966666795 magId "1966666795" @default.
- W1966666795 workType "article" @default.