Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W1990957863> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 87 of
87
with 100 items per page.
- W1990957863 endingPage "420" @default.
- W1990957863 startingPage "418" @default.
- W1990957863 abstract "We report on a new method to build suspended silicon nanowires in highly doped silicon films in silicon-on-insulator substrates. The beams are defined by high-resolution, low-energy electron-beam lithography using a two-layer positive electron resist. Micromachining techniques including dry and wet etching are applied to pattern the structures. We show first low-temperature measurements of these novel devices indicating electron-phonon interaction." @default.
- W1990957863 created "2016-06-24" @default.
- W1990957863 creator A5001155256 @default.
- W1990957863 creator A5012826859 @default.
- W1990957863 creator A5016226308 @default.
- W1990957863 creator A5038929180 @default.
- W1990957863 creator A5045450410 @default.
- W1990957863 creator A5079119310 @default.
- W1990957863 creator A5090846325 @default.
- W1990957863 date "1999-12-01" @default.
- W1990957863 modified "2023-10-16" @default.
- W1990957863 title "Suspending highly doped silicon-on-insulator wires for applications in nanomechanics" @default.
- W1990957863 cites W1502917544 @default.
- W1990957863 cites W1757193102 @default.
- W1990957863 cites W1967835431 @default.
- W1990957863 cites W1970130159 @default.
- W1990957863 cites W1971267236 @default.
- W1990957863 cites W1978510326 @default.
- W1990957863 cites W1980725573 @default.
- W1990957863 cites W2008024903 @default.
- W1990957863 cites W2009460700 @default.
- W1990957863 cites W2012397648 @default.
- W1990957863 cites W2022665392 @default.
- W1990957863 cites W2044574928 @default.
- W1990957863 cites W2050705949 @default.
- W1990957863 cites W2054072431 @default.
- W1990957863 cites W2065317765 @default.
- W1990957863 cites W2069315701 @default.
- W1990957863 cites W2071908215 @default.
- W1990957863 cites W2071967158 @default.
- W1990957863 cites W2086093404 @default.
- W1990957863 cites W2091555758 @default.
- W1990957863 cites W2094465365 @default.
- W1990957863 doi "https://doi.org/10.1088/0957-4484/10/4/310" @default.
- W1990957863 hasPublicationYear "1999" @default.
- W1990957863 type Work @default.
- W1990957863 sameAs 1990957863 @default.
- W1990957863 citedByCount "43" @default.
- W1990957863 countsByYear W19909578632012 @default.
- W1990957863 countsByYear W19909578632020 @default.
- W1990957863 crossrefType "journal-article" @default.
- W1990957863 hasAuthorship W1990957863A5001155256 @default.
- W1990957863 hasAuthorship W1990957863A5012826859 @default.
- W1990957863 hasAuthorship W1990957863A5016226308 @default.
- W1990957863 hasAuthorship W1990957863A5038929180 @default.
- W1990957863 hasAuthorship W1990957863A5045450410 @default.
- W1990957863 hasAuthorship W1990957863A5079119310 @default.
- W1990957863 hasAuthorship W1990957863A5090846325 @default.
- W1990957863 hasConcept C102951782 @default.
- W1990957863 hasConcept C133267278 @default.
- W1990957863 hasConcept C159985019 @default.
- W1990957863 hasConcept C171250308 @default.
- W1990957863 hasConcept C192562407 @default.
- W1990957863 hasConcept C49040817 @default.
- W1990957863 hasConcept C53143962 @default.
- W1990957863 hasConcept C544956773 @default.
- W1990957863 hasConcept C57863236 @default.
- W1990957863 hasConceptScore W1990957863C102951782 @default.
- W1990957863 hasConceptScore W1990957863C133267278 @default.
- W1990957863 hasConceptScore W1990957863C159985019 @default.
- W1990957863 hasConceptScore W1990957863C171250308 @default.
- W1990957863 hasConceptScore W1990957863C192562407 @default.
- W1990957863 hasConceptScore W1990957863C49040817 @default.
- W1990957863 hasConceptScore W1990957863C53143962 @default.
- W1990957863 hasConceptScore W1990957863C544956773 @default.
- W1990957863 hasConceptScore W1990957863C57863236 @default.
- W1990957863 hasIssue "4" @default.
- W1990957863 hasLocation W19909578631 @default.
- W1990957863 hasOpenAccess W1990957863 @default.
- W1990957863 hasPrimaryLocation W19909578631 @default.
- W1990957863 hasRelatedWork W2014315543 @default.
- W1990957863 hasRelatedWork W2051270029 @default.
- W1990957863 hasRelatedWork W2082293200 @default.
- W1990957863 hasRelatedWork W2137307547 @default.
- W1990957863 hasRelatedWork W2380293314 @default.
- W1990957863 hasRelatedWork W2943188944 @default.
- W1990957863 hasRelatedWork W3008690834 @default.
- W1990957863 hasRelatedWork W3082440218 @default.
- W1990957863 hasRelatedWork W4242480814 @default.
- W1990957863 hasRelatedWork W4285802202 @default.
- W1990957863 hasVolume "10" @default.
- W1990957863 isParatext "false" @default.
- W1990957863 isRetracted "false" @default.
- W1990957863 magId "1990957863" @default.
- W1990957863 workType "article" @default.