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• W2017304756 abstract "二酸化セリウム/イットリア安定化ジルコニア/シリコン（CeO2/YSZ/Si）及びYSZ/CeO2/Siヘテロ構造の配向性に及ぼす界面の構造と化学状態の影響を，高分解能分析電子顕微鏡によって明らかにした．いずれの積層においても幅10∼30 nmの柱状構造が観察されたが，その配向性は大きく異なった．YSZ/CeO2/Siヘテロ構造においては，CeO2層は（111）優先配向を示し，面内には配向を持たなかった．electron energy loss spectroscopy（TEM-EELS），energy dispersive X-ray spectroscopy（TEM-EDS）による界面近傍の分析の結果，CeO2が還元された界面反応層とSiが酸化された界面反応層の存在が明らかとなった．CeO2/YSZ/Siヘテロ構造においては，CeO2層は優先的に（001）配向したが，YSZが薄いほうがCeO2層の（001）配向性は向上した．（001）配向した領域のCeO2/YSZ界面については，YSZ層が厚い場合，ミスフィット転位を伴った半整合界面を形成した．YSZ層が薄い場合，YSZ層の構造の乱れのために明確な界面構造は分からなかった．TEM-EDS分析の結果，Si酸化膜だけが存在した．膜厚が薄い場合でもYSZ層にはSi基板の結晶方位をCeO2層に伝達する効果に加えて，Siに対して熱力学的に不安定なCeO2の還元を抑制する効果があることが明らかになった．" @default.
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