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- W2021336477 abstract "セルロースと硬質無機材料との複合微粒子化により，シリコンウエハなど，精密機械部品を研磨するセルロース複合砥粒材の開発を検討した．セルロースは，セルロースザンテート水溶液(ビスコース)とポリアクリル酸を用いることにより，球状に固化させることができる．その際に，ビスコース中に Al2O3，SiC，ダイヤモンドなど，無機微粒子を混合することにより，セルロース/無機複合球状粒子が得られる．これら粒子中における無機微粒子の分布は，無機微粒子の電気泳動スペクトルを測定することにより，セルロース粒子の表面に分布するか否かの指標となることが示唆された．ゼータ電位がマイナスにシフトし，泳動速度の分布が均一な微粒子ほど，セルロース球状粒子の表面に濃縮されることがわかった．シリコンウエハの平滑化に対して，無機微粒子が表面に濃縮されたセルロース球状粒子を用いたところ，従来の研磨材よりも，優位性のある平滑化能を発現させることができた．" @default.
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