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• W2023906434 abstract "Experiments used to determine the energy resolution, field of view, depth of field and instrumental response of a concentric hemispherical analyser (CHA) are described. The effect of analysis energy on the size and shape of the field of view is investigated using a procedure which employs the imaging facilities of a scanning Auger electron microscope. The transmission of the CHA, for different input lens retardation ratios, is found, firstly, in an experiment using a thermionic electron source and, secondly, using the departure from linearity of spectra plotted in a log N (E) vs log E form. Such a plot is found to provide a convenient and sensitive method of detecting possible sources of error, such as mispositioning of the sample surface or electrostatic charging of material in the specimen region. These findings indicate the need for careful mechanical alignment of the spectrometer and for the sample surface to be positioned reproducibly within ±200 μm of the centre of the CHA field of view to ensure an accuracy of better than ±10% in estimates of Auger current. A procedure for repositioning the specimen to give a reproducibility of ca +2% in signal measurement is deduced. Computer techniques, to correct for effects of both spectrometer transmission and detector efficiency, are described. Es werden Experimente beschrieben, die zur Bestimmung der Energieauflösung, des Gesichtsfeldes, der Schärfentiefe und der Energiefunktion eines konzentrischen, hemisphärischen Analysators (CHA) angewendet werden. Der Einfluβ der Passenergie auf die Gröβe und Form des Gesichtsfeldes wird unter Verwendung einer Prozedur, welche die Abbildungseigenschaften eines Raster-Augerelektronenmikroskops ausnützt, untersucht. Die transmission des CHA wurde für verschiedene Verzögerungsverhältnisse der Eintrittsoptik auf zwei Arten bestimmt: Erstens, in einer Anordnung unter Verwendung einer thermionischen Elektronenquelle und Zweitens, unter Ausnützung der Abweichung von der Linearität der N(E) Spektren in doppelt logarithmischer Darstellung. Diese Darstellungsweise zeigt sich als bequeme und empfindliche Methode um mögliche Fehlerquellen, wie Fehljustierungen auf der Probenoberfläche oder elektrostatische Aufladungen im Probenbereich zu verhindern. Die Ergebnisse zeigen die Notwendigkeit einer sorgfältigen mechanischen Positionierung des Spektrometers und der Probenoberfläche, die innerhalb von ±200 μm bezogen auf das Zentrum des Gesichtsfeldes des CHA reproduzierbar sein soll, um für den Augerstrom einen Fehler kleiner als ±10% zu erzielen. Zur neuerlichen Positionierung der Probe wird eine Vorgangsweise angegeben, die eine Reproduzierbarkeit des Messignals mit ca 2% Fehler erlaubt. Weiters sind Rechentechniken beschrieben, um Einflüsse, die sowohl von der Spektrometer Transmission als auch von der Detektor-Effizienz stammen, zu korrigieren. On décrit experiences pour déterminer la résolution énergique, le champ de vue, la profondeur de champ et la réponse instrumentale d'un analyseur concentrique et hemisphèrique (ACH). On a etudié l'effet de l'énergie de l'analyse en fonction de la taille et de la forme du champ de vue, tout en utilisant l'image donnée par un microscope électronique Auger à balayage. La transmission du ACH, pour de différentes valeurs entrées des rapports rétardées de la lentille, est trouvée par deux méthodes. D'abord, en employant une source des electrons thermiques et deuxième, en notant la décart de linearité des spectres rapportées sous forme de log N(E) en fonction de log E. On trouve qu'un tel tracé fournit une méthode, à la fois commode et sensible, qui peut décceler des sources d'érreur, par example la malplacement de la surface du spécimen on un chargement électrostatique auprès de l'échantillon. Ces données indiquent que le spectromètre doit être aligné soigneusement du point de vue méchanique et que la surface de l'échantillon doit être placer d'une façon réproductible à 200 μm près du centre du champ de vue du ACH: ceci pour assurer une précision (meilleur de ±10%) de la mésure du courant Auger. On a deduit un processus pour replacer le spécimen tel qu'il y a une réproductible de ∼ + 2% pour le signale mesuré. Enfin on décrit quelques téchniques d'ordinateur pour corriger des effets dus aux transmission du spectromètre et rendement du détecteur." @default.
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