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- W2029888963 abstract "半導体次世代Cu配線用材料の一つである窒化タンタル膜（TaN）の組成評価法を，湿式試料溶解法を用いて検討した．試料をHFとHClで180℃，2時間加圧分解後，Taは誘導結合プラズマ発光分析法，Nはネスラー吸光光度法により定量し，同一溶液からの定量が可能となった．また，確立した溶解法で値付けした試料を蛍光X線分析法の標準試料へと適用し，化学分析値との誤差1％ 以内で高精度に，且つ迅速（化学分析法の1/20以下）に定量可能となった．本方法を実試料へ展開した結果，ウェハー面内での組成変動が明らかとなり，工程評価法として適用可能であることを示した．" @default.
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