Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2035486519> ?p ?o ?g. }
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with 100 items per page.
- W2035486519 endingPage "1017" @default.
- W2035486519 startingPage "1011" @default.
- W2035486519 abstract "본 논문에서는 롤타입 마스크를 사용한 마이크로/나노 구조 제작용 광학 리소그래피 방법을 소개한다. 이 생산 방법은 다양한 목표 해상도에 따라 위상지연 리소그래피방법과 포토리소그래피로 나뉜다. 사용되는 빛의 파장대보다 작은 해상도를 갖는 패턴을 제작하기 위해서 실린더 형태의 위상지연 마스크를 활용한 근거리 노광 방식을 사용한다. 또한 필름 형태의 금속 마스크를 써서 포토리소그래피를 연속 방식으로 수행하였는데 이 방식은 실린더 마스크의 회전수를 조절함으로써 노광 결과 패턴의 주기를 실시간으로 조절할 수 있다. 이 기술의 응용으로 금속 그물패턴으로 만들어진 100 ㎟ 넓이의 투명전극을 제작하였다." @default.
- W2035486519 created "2016-06-24" @default.
- W2035486519 creator A5064570524 @default.
- W2035486519 date "2012-10-01" @default.
- W2035486519 modified "2023-10-16" @default.
- W2035486519 title "Continuous Photolithography by Roll-Type Mask and Applications" @default.
- W2035486519 cites W1987397353 @default.
- W2035486519 cites W2014732971 @default.
- W2035486519 cites W2020045825 @default.
- W2035486519 cites W2025443697 @default.
- W2035486519 cites W2054203260 @default.
- W2035486519 cites W2131507486 @default.
- W2035486519 cites W2170915213 @default.
- W2035486519 doi "https://doi.org/10.3795/ksme-b.2012.36.10.1011" @default.
- W2035486519 hasPublicationYear "2012" @default.
- W2035486519 type Work @default.
- W2035486519 sameAs 2035486519 @default.
- W2035486519 citedByCount "0" @default.
- W2035486519 crossrefType "journal-article" @default.
- W2035486519 hasAuthorship W2035486519A5064570524 @default.
- W2035486519 hasConcept C105487726 @default.
- W2035486519 hasConcept C127313418 @default.
- W2035486519 hasConcept C151730666 @default.
- W2035486519 hasConcept C192562407 @default.
- W2035486519 hasConcept C2777299769 @default.
- W2035486519 hasConcept C41008148 @default.
- W2035486519 hasConcept C49040817 @default.
- W2035486519 hasConceptScore W2035486519C105487726 @default.
- W2035486519 hasConceptScore W2035486519C127313418 @default.
- W2035486519 hasConceptScore W2035486519C151730666 @default.
- W2035486519 hasConceptScore W2035486519C192562407 @default.
- W2035486519 hasConceptScore W2035486519C2777299769 @default.
- W2035486519 hasConceptScore W2035486519C41008148 @default.
- W2035486519 hasConceptScore W2035486519C49040817 @default.
- W2035486519 hasIssue "10" @default.
- W2035486519 hasLocation W20354865191 @default.
- W2035486519 hasOpenAccess W2035486519 @default.
- W2035486519 hasPrimaryLocation W20354865191 @default.
- W2035486519 hasRelatedWork W2004754773 @default.
- W2035486519 hasRelatedWork W2009618077 @default.
- W2035486519 hasRelatedWork W2324065591 @default.
- W2035486519 hasRelatedWork W2379171104 @default.
- W2035486519 hasRelatedWork W2379276625 @default.
- W2035486519 hasRelatedWork W2737498735 @default.
- W2035486519 hasRelatedWork W2748952813 @default.
- W2035486519 hasRelatedWork W2898370298 @default.
- W2035486519 hasRelatedWork W2899084033 @default.
- W2035486519 hasRelatedWork W4292492973 @default.
- W2035486519 hasVolume "36" @default.
- W2035486519 isParatext "false" @default.
- W2035486519 isRetracted "false" @default.
- W2035486519 magId "2035486519" @default.
- W2035486519 workType "article" @default.