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• W2042006357 abstract "Aluminium nitride films are deposited onto GaAs substrates by plasma assisted reactive evaporation under simultaneous low energy electron bombardement (80 eV). The plasma is generated by a de discharge in nitrogen using a hot cathode. The films exhibit stoichiometric AIN at deposition rates below 5 nm/min in the temperature range from 50 to 425 °C. The resistivity of the unannealed films is 1013 Ω cm, the breakdown field strength up to 5 × 106 V/cm. The charge carrier transport in the high field region takes place via Poole-Frenkel emission. Aluminiumnitridschichten werden auf GaAs-Substrate mittels plasmaunterstützten, reaktiven Niederschlags bei gleichzeitigem Elektronenbeschuß mit niedriger Energie (80 eV) hergestellt. Das Plasma wird durch eine Gleichspannungsentladung in Stickstoff mit heißer Kathode hergestellt. Die Schichten ergeben bei Niederschlagsraten unterhalb 5 nm/min im Temperaturbereich von 50 bis 425 °C stöchiometrisches AlN. Der Widerstand der ungetemperten Schichten beträgt 1013 Ω cm, die Durchbruchsfeldstärke bis zu 5 × 106 V/cm. Der Ladungsträgertransport im Hochfeldbereich erfolgt über Poole-Frenkel-Emission." @default.
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