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- W2043638287 endingPage "355" @default.
- W2043638287 startingPage "353" @default.
- W2043638287 abstract "Silicon-on-Insulator-(SOI-)Substrate erleben in den letzten Jahren einen neuen Aufschwung im Bereich der CMOS-Anwendungen. Aufgrund der sehr guten Bauelement-Eigenschaften, wie der besseren elektrischen Kopplung zwischen Gate-Elektrode und Transistor-Kanal, der geringen parasitären Kapazitäten und der ausgezeichneten Isolation der Bauelemente erscheint eine SOI-CMOS-Technologie besonders vielversprechend für Anwendungen mit Betriebsspannungen kleiner 0,9 V. Weitere Vorteile bietet SOI aufgrund einer Reduzierung der Prozeßschritte, seiner Strahlungsfestigkeit und der möglichen hohen Betriebstemperaturen. Sehr wichtig ist allerdings, bei der Prozessierung von SOI-CMOS-Transistoren einige Besonderheiten zu berücksichtigen. Abweichungen zeigen sich dabei aufgrund des veränderten Schichtaufbaus z. B. bei Rapid-Thermal-Prozessen und im Temperaturverhalten von Dotierstoffen. Weitere Unterschiede finden sich bei der Prozessierung der Isolationsgebiete. Insgesamt ist die SOI-Technologie heutzutage als die vielversprechendste CMOS-Technologie für Anwendungen mit Betriebsspannungen kleiner 0,9 V anzusehen." @default.
- W2043638287 created "2016-06-24" @default.
- W2043638287 creator A5006122653 @default.
- W2043638287 creator A5049354618 @default.
- W2043638287 date "1998-04-01" @default.
- W2043638287 modified "2023-09-26" @default.
- W2043638287 title "Beratender Ausschuß der Industriephysiker: Silicon-on-Insulator-Technologie: Neue „ow-Power”︁-CMOS-Anwendungen mit Betriebsspannungen kleiner 0,9 V" @default.
- W2043638287 cites W1982751172 @default.
- W2043638287 cites W2497389460 @default.
- W2043638287 cites W570493282 @default.
- W2043638287 doi "https://doi.org/10.1002/phbl.19980540415" @default.
- W2043638287 hasPublicationYear "1998" @default.
- W2043638287 type Work @default.
- W2043638287 sameAs 2043638287 @default.
- W2043638287 citedByCount "0" @default.
- W2043638287 crossrefType "journal-article" @default.
- W2043638287 hasAuthorship W2043638287A5006122653 @default.
- W2043638287 hasAuthorship W2043638287A5049354618 @default.
- W2043638287 hasBestOaLocation W20436382871 @default.
- W2043638287 hasConcept C119599485 @default.
- W2043638287 hasConcept C121332964 @default.
- W2043638287 hasConcept C127413603 @default.
- W2043638287 hasConcept C192562407 @default.
- W2043638287 hasConcept C46362747 @default.
- W2043638287 hasConcept C49040817 @default.
- W2043638287 hasConcept C53143962 @default.
- W2043638287 hasConcept C544956773 @default.
- W2043638287 hasConceptScore W2043638287C119599485 @default.
- W2043638287 hasConceptScore W2043638287C121332964 @default.
- W2043638287 hasConceptScore W2043638287C127413603 @default.
- W2043638287 hasConceptScore W2043638287C192562407 @default.
- W2043638287 hasConceptScore W2043638287C46362747 @default.
- W2043638287 hasConceptScore W2043638287C49040817 @default.
- W2043638287 hasConceptScore W2043638287C53143962 @default.
- W2043638287 hasConceptScore W2043638287C544956773 @default.
- W2043638287 hasIssue "4" @default.
- W2043638287 hasLocation W20436382871 @default.
- W2043638287 hasOpenAccess W2043638287 @default.
- W2043638287 hasPrimaryLocation W20436382871 @default.
- W2043638287 hasRelatedWork W135418979 @default.
- W2043638287 hasRelatedWork W1566148503 @default.
- W2043638287 hasRelatedWork W1575351219 @default.
- W2043638287 hasRelatedWork W1682500832 @default.
- W2043638287 hasRelatedWork W1975823115 @default.
- W2043638287 hasRelatedWork W2139302125 @default.
- W2043638287 hasRelatedWork W2142885403 @default.
- W2043638287 hasRelatedWork W2157392300 @default.
- W2043638287 hasRelatedWork W2164623256 @default.
- W2043638287 hasRelatedWork W2186807874 @default.
- W2043638287 hasVolume "54" @default.
- W2043638287 isParatext "false" @default.
- W2043638287 isRetracted "false" @default.
- W2043638287 magId "2043638287" @default.
- W2043638287 workType "article" @default.