Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2063695302> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 78 of
78
with 100 items per page.
- W2063695302 endingPage "404" @default.
- W2063695302 startingPage "399" @default.
- W2063695302 abstract "半導体用Siウェハーの面内に偏析する超微量金属元素 (Mg, Al, Cr, Fe, Ni, Cu) を定量するために, 湿式酸分解法とマイクロフローネブライザーMFN-ICP-MSを組み合わせ, 最適条件を検討した. 特定領域 (3～7cm2) をエッチング可能なPTFE製局所分解冶具を試作し, 硝酸-フッ化水素酸によるエッチングを試み, 1ml以下の少量溶液でエッチング深さを制御できることが分かった. 本法を半導体デバイスの電気的特性評価法であるTZDB特性により, 実際に耐圧劣化した部分 (C- mode) と良好部分 (C+ mode) を選択し, 適用した結果, 耐圧劣化部に局所的にCuが1.2～3.9×1011 atoms/cm2レベルで濃縮していることを明らかとした. 更に, 透過型電子顕微鏡 (TEM) で試料の断面構造を観察し, ポリ電極/シリコン酸化膜上部4nm近傍にCuが存在していることを確認した. 本方法での検出限界 (標準偏差の3σ) は溶液0.3mlにおいて, 4×109～5×1010 atoms/cm2であった." @default.
- W2063695302 created "2016-06-24" @default.
- W2063695302 creator A5048081200 @default.
- W2063695302 creator A5049849747 @default.
- W2063695302 creator A5076942087 @default.
- W2063695302 creator A5083640897 @default.
- W2063695302 creator A5090082380 @default.
- W2063695302 date "2001-01-01" @default.
- W2063695302 modified "2023-10-18" @default.
- W2063695302 title "Analytical Chemistry represented by super and ultra. Determination of the ultratrace metallic impurities distribution in silicon wafers by sub-area chemical etching/microflow neblizer-ICP-MS." @default.
- W2063695302 cites W1587189802 @default.
- W2063695302 cites W2006603364 @default.
- W2063695302 cites W2063997962 @default.
- W2063695302 cites W2084972615 @default.
- W2063695302 cites W2124904417 @default.
- W2063695302 cites W2315501647 @default.
- W2063695302 cites W2321966297 @default.
- W2063695302 doi "https://doi.org/10.2116/bunsekikagaku.50.399" @default.
- W2063695302 hasPublicationYear "2001" @default.
- W2063695302 type Work @default.
- W2063695302 sameAs 2063695302 @default.
- W2063695302 citedByCount "1" @default.
- W2063695302 crossrefType "journal-article" @default.
- W2063695302 hasAuthorship W2063695302A5048081200 @default.
- W2063695302 hasAuthorship W2063695302A5049849747 @default.
- W2063695302 hasAuthorship W2063695302A5076942087 @default.
- W2063695302 hasAuthorship W2063695302A5083640897 @default.
- W2063695302 hasAuthorship W2063695302A5090082380 @default.
- W2063695302 hasBestOaLocation W20636953021 @default.
- W2063695302 hasConcept C100460472 @default.
- W2063695302 hasConcept C113196181 @default.
- W2063695302 hasConcept C160671074 @default.
- W2063695302 hasConcept C171250308 @default.
- W2063695302 hasConcept C178790620 @default.
- W2063695302 hasConcept C185592680 @default.
- W2063695302 hasConcept C191897082 @default.
- W2063695302 hasConcept C192562407 @default.
- W2063695302 hasConcept C2779227376 @default.
- W2063695302 hasConcept C33220542 @default.
- W2063695302 hasConcept C43617362 @default.
- W2063695302 hasConcept C544153396 @default.
- W2063695302 hasConcept C544956773 @default.
- W2063695302 hasConcept C71987851 @default.
- W2063695302 hasConceptScore W2063695302C100460472 @default.
- W2063695302 hasConceptScore W2063695302C113196181 @default.
- W2063695302 hasConceptScore W2063695302C160671074 @default.
- W2063695302 hasConceptScore W2063695302C171250308 @default.
- W2063695302 hasConceptScore W2063695302C178790620 @default.
- W2063695302 hasConceptScore W2063695302C185592680 @default.
- W2063695302 hasConceptScore W2063695302C191897082 @default.
- W2063695302 hasConceptScore W2063695302C192562407 @default.
- W2063695302 hasConceptScore W2063695302C2779227376 @default.
- W2063695302 hasConceptScore W2063695302C33220542 @default.
- W2063695302 hasConceptScore W2063695302C43617362 @default.
- W2063695302 hasConceptScore W2063695302C544153396 @default.
- W2063695302 hasConceptScore W2063695302C544956773 @default.
- W2063695302 hasConceptScore W2063695302C71987851 @default.
- W2063695302 hasIssue "6" @default.
- W2063695302 hasLocation W20636953021 @default.
- W2063695302 hasOpenAccess W2063695302 @default.
- W2063695302 hasPrimaryLocation W20636953021 @default.
- W2063695302 hasRelatedWork W1497161545 @default.
- W2063695302 hasRelatedWork W1980475310 @default.
- W2063695302 hasRelatedWork W2045130963 @default.
- W2063695302 hasRelatedWork W2052794911 @default.
- W2063695302 hasRelatedWork W2064091327 @default.
- W2063695302 hasRelatedWork W2064807885 @default.
- W2063695302 hasRelatedWork W2095294273 @default.
- W2063695302 hasRelatedWork W2325894594 @default.
- W2063695302 hasRelatedWork W2356241119 @default.
- W2063695302 hasRelatedWork W2903101056 @default.
- W2063695302 hasVolume "50" @default.
- W2063695302 isParatext "false" @default.
- W2063695302 isRetracted "false" @default.
- W2063695302 magId "2063695302" @default.
- W2063695302 workType "article" @default.