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- W2080868165 abstract "A novel plasma based radio frequency method for low energy charge compensated ion bombardment of dielectric surfaces is described. As a practical example, this technique is applied for a controlled removal of undefined leached surface layers on glass samples.Es wird uber eine neuentwickelte plasmagestutzte Hochfrequenzmethode zum ladungskompensierten Beschus dielektrischer Oberflachen mit niederenergetischen Ionen berichtet. In einem Anwendungsbeispiel wird gezeigt, das mit diesem Verfahren eine storungsfreie Entfernung von undefinierten Auslaugschichten auf Glasern moglich wird." @default.
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