FRINK Linked Data Fragments server

Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2083572303> ?p ?o ?g. }

• W2083572303 endingPage "242" @default.
• W2083572303 startingPage "231" @default.
• W2083572303 abstract "The structure of hydrogenated amorphous silicon films, 100 Å thick, prepared from plasma glow discharge of silane, is investigated by electron microscopy and scanning electron diffraction. Films are prepared at plasma pressures of 0.05 and 0.3 Torr onto NaCl and KBr substrates held at room temperature and at 250 °C. The H content of the films ranges from 20 to 40 at%. The radial distribution function of these films shows a near neighbor correlation distance of (2.375 ± ± 0.05) Å (for evaporated films (2.350 ± 0.05) Å), and a second neighbor distance of (3.69 ± ± 0.05) Å. The Si—Si near neighbor coordination numbers decrease monotonically with increasing H content from 3.55 to 3.25 ± 0.1 (for evaporated Si films it is 4.0 ± 0.1). Atoms-per-unit volume density ratios which include H (ϱa-Si/ϱx-tal Si) of 0.7866, 0.7863, and 0.707 are determined for films containing 20, 25, and 40 at% H. Films prepared at room temperature with 0.3 Torr pressure have an additional small peak at 4.29 Å, not found for films at high substrate temperature and low pressure, from which it is concluded that the former films are partially polymeric. Films containing up to 25 at% H show a weak structural modulation at 4.55 Å which decreases with decreasing H content, and is not seen for evaporated amorphous Si films and films containing 40 at% H. This peak is associated with a larger number of staggered configurations in the random network. The observed radial correlations with the exception of the aforementioned differences are in general agreement with a tetrahedral random network. Bright field electron microscopy of the high pressure films shows an unhomogeneous microstructure consisting of clusters 1000 Å in diameter, with details of the morphology and size depending on the substrate temperature and type. Low pressure films have a homogeneous microstructure. Die Struktur amorpher, hydrierter, 100 Å dicker Siliziumfilme wird elektronenmikroskopisch und durch Scanning-Elektronenbeugung untersucht. Filme, die durch Plasma-Glimmentladung bei Plasmadrücken von 0,05 und 0,3 Torr auf NaCl und KBr Substrate bei Raumtemperatur und 250 °C hergestellt wurden, zeigen einen Wasserstoffgehalt von 20 bis 40 At%. Die radiale Verteilungsfunktion zeigt einen Abstand nächster Nachbarn von (2,375 ± 0,05) Å (für aufgedampfte Schichten (2.350 ± 0,05) Å) und einen übernächsten Nachbarabstand von (3,69 ± 0,05) Å. Die Si—Si Koordinationszahlen nächster Nachbarn nehmen monoton mit wachsender Wasserstoffkonzentration von 3,55 bis 3,25 ± 0,1 (für aufgedampfte Schichten 4,0 ± 0,01) ab. Dichteverhältnisse der Atome pro Einheitsvolumen — Wasserstoff eingeschlossen —, (ϱa-Si/ϱx-talSi), von 0,7866; 0,7863 und 0,707 werden für Filme mit 20, 25 und 40 At% Wasserstoff bestimmt. Bei Raumtemperatur und 0,3 Torr hergestellte Filme zeigen zusätzlich einen schwach ausgeprägtes Maximum bei 4,29 Å, das bei Filmen nicht gefunden wird, die bei höheren Substrattemperaturen und niederen Drücken hegestellt wurden. Daraus wird gefolgert, daß die ersteren Filme teilweise polymer sind. Filme die bis zu 25 At% Wasserstoff enthalten zeigen eine schwache strukturelle Modulation bei 4,55 Å, die mit sinkendem Wasserstoffgehalt abnimmt und weder bei aufgedampften noch bei Si-Filmen mit 40 At% Wasserstoff beobachtet wird. Dieses Maximum wird mit einer größeren Anzahl von Konfigurationen mit verzerrter Diamantstruktur in der Zufallsverteilung verknüpft. Die beobachtete radiale Korrelation — mit Ausnahme der vorher erwähnten Unterschiede — stimmen mit einer Tetraeder-Zufallsverteilung überein. Elektronenmikroskopische Untersuchungen im Hellfeld der bei hohen Drücken hergestellten Filme zeigen eine inhomogene Mikrostruktur, die aus Clustern von 1000 Å Durchmesser besteht. Einzelheiten der Morphologie und Größe dieser Cluster hängen von der Substrattemperatur und Substratart ab. Bei niederen Drücken hergestellte Filme zeigen keine Mikrostruktur." @default.
• W2083572303 created "2016-06-24" @default.
• W2083572303 creator A5040712148 @default.
• W2083572303 date "1979-09-16" @default.
• W2083572303 modified "2023-10-16" @default.
• W2083572303 title "Structure of glow discharge amorphous silicon" @default.
• W2083572303 cites W1970711747 @default.
• W2083572303 cites W1994766138 @default.
• W2083572303 cites W1999713143 @default.
• W2083572303 cites W2005308506 @default.
• W2083572303 cites W2013734872 @default.
• W2083572303 cites W2035923533 @default.
• W2083572303 cites W2040896201 @default.
• W2083572303 cites W2041688682 @default.
• W2083572303 cites W2043794154 @default.
• W2083572303 cites W2057112997 @default.
• W2083572303 cites W2058817560 @default.
• W2083572303 cites W2060712078 @default.
• W2083572303 cites W2082804800 @default.
• W2083572303 cites W2105556780 @default.
• W2083572303 cites W4243860104 @default.
• W2083572303 doi "https://doi.org/10.1002/pssa.2210550126" @default.
• W2083572303 hasPublicationYear "1979" @default.
• W2083572303 type Work @default.
• W2083572303 sameAs 2083572303 @default.
• W2083572303 citedByCount "47" @default.
• W2083572303 countsByYear W20835723032017 @default.
• W2083572303 crossrefType "journal-article" @default.
• W2083572303 hasAuthorship W2083572303A5040712148 @default.
• W2083572303 hasConcept C111368507 @default.
• W2083572303 hasConcept C113196181 @default.
• W2083572303 hasConcept C121332964 @default.
• W2083572303 hasConcept C127313418 @default.
• W2083572303 hasConcept C159985019 @default.
• W2083572303 hasConcept C171250308 @default.
• W2083572303 hasConcept C185592680 @default.
• W2083572303 hasConcept C19067145 @default.
• W2083572303 hasConcept C192562407 @default.
• W2083572303 hasConcept C26771246 @default.
• W2083572303 hasConcept C2776390347 @default.
• W2083572303 hasConcept C2776595061 @default.
• W2083572303 hasConcept C2777289219 @default.
• W2083572303 hasConcept C2778024649 @default.
• W2083572303 hasConcept C2779667780 @default.
• W2083572303 hasConcept C30646810 @default.
• W2083572303 hasConcept C43617362 @default.
• W2083572303 hasConcept C49040817 @default.
• W2083572303 hasConcept C544956773 @default.
• W2083572303 hasConcept C56052488 @default.
• W2083572303 hasConcept C62520636 @default.
• W2083572303 hasConcept C8010536 @default.
• W2083572303 hasConcept C82706917 @default.
• W2083572303 hasConcept C97355855 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C111368507 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C113196181 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C121332964 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C127313418 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C159985019 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C171250308 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C185592680 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C19067145 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C192562407 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C26771246 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C2776390347 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C2776595061 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C2777289219 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C2778024649 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C2779667780 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C30646810 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C43617362 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C49040817 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C544956773 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C56052488 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C62520636 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C8010536 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C82706917 @default.
• W2083572303 hasConceptScore W2083572303C97355855 @default.
• W2083572303 hasIssue "1" @default.
• W2083572303 hasLocation W20835723031 @default.
• W2083572303 hasOpenAccess W2083572303 @default.
• W2083572303 hasPrimaryLocation W20835723031 @default.
• W2083572303 hasRelatedWork W1508858239 @default.
• W2083572303 hasRelatedWork W1966810442 @default.
• W2083572303 hasRelatedWork W1978852381 @default.
• W2083572303 hasRelatedWork W1983336256 @default.
• W2083572303 hasRelatedWork W1995975728 @default.
• W2083572303 hasRelatedWork W2027598472 @default.
• W2083572303 hasRelatedWork W2042884947 @default.
• W2083572303 hasRelatedWork W2066304073 @default.
• W2083572303 hasRelatedWork W2070984936 @default.
• W2083572303 hasRelatedWork W2083321254 @default.
• W2083572303 hasVolume "55" @default.
• W2083572303 isParatext "false" @default.
• W2083572303 isRetracted "false" @default.
• W2083572303 magId "2083572303" @default.
• W2083572303 workType "article" @default.