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- W2201367466 abstract "MOSFET 구조의 차세대 Oxide 박막으로 주목받고 있는 HfOx박막을 rf magnetron sputter를 이용하여 Si(100) 기판 위에 증착하였다. 증착시 산소의 유량을 5, 10, 15 sccm으로 변화를 주며 증착하였고 이후 furnace에서 400부터 800℃까지 질소분위기로 열처리 하였다. 실험결과 HfOx 박막의 전기적 특성은 산소유량 증가에 따라 누설전류 특성이 향상되었으나, 열처리 온도가 증가함에 따라서는 감소하였다. 특히, 이 논문에서는 Nano-indenter와 AFM으로 HfOx 박막의 nanomechanics 특성을 측정하였다. 측정 결과에 의하면 열처리 온도가 증가함에 따라 최대 압입력을 기준으로 최대 압입 깊이가 24.9 nm에서 38.8 nm로 증가하였으며 특히 800℃ 열처리된 박막에서 압입 깊이가 급격하게 증가하였다. 이러한 압입 깊이의 급격한 증가는 박막내응력 완화에 의한 스트레스 변화로 예상되며, 그 원인으로 증착시 박막내 포함된 산소가 열처리 조건에 의해 빠져나감에 의한 것으로 판단된다." @default.
- W2201367466 created "2016-06-24" @default.
- W2201367466 creator A5012562004 @default.
- W2201367466 creator A5037262307 @default.
- W2201367466 creator A5042193276 @default.
- W2201367466 creator A5047161746 @default.
- W2201367466 creator A5055038225 @default.
- W2201367466 date "2013-09-30" @default.
- W2201367466 modified "2023-09-26" @default.
- W2201367466 title "Nano-Mechanical Studies of HfOx Thin Film for Oxygen Outgasing Effect during the Annealing Process" @default.
- W2201367466 cites W1907917236 @default.
- W2201367466 cites W1973342752 @default.
- W2201367466 cites W1985296875 @default.
- W2201367466 cites W2001284195 @default.
- W2201367466 cites W2002143605 @default.
- W2201367466 cites W2050276976 @default.
- W2201367466 cites W2070767213 @default.
- W2201367466 cites W2079772497 @default.
- W2201367466 cites W2130905771 @default.
- W2201367466 cites W2217274624 @default.
- W2201367466 cites W2219729430 @default.
- W2201367466 cites W2327049361 @default.
- W2201367466 doi "https://doi.org/10.5757/jkvs.2013.22.5.245" @default.
- W2201367466 hasPublicationYear "2013" @default.
- W2201367466 type Work @default.
- W2201367466 sameAs 2201367466 @default.
- W2201367466 citedByCount "0" @default.
- W2201367466 crossrefType "journal-article" @default.
- W2201367466 hasAuthorship W2201367466A5012562004 @default.
- W2201367466 hasAuthorship W2201367466A5037262307 @default.
- W2201367466 hasAuthorship W2201367466A5042193276 @default.
- W2201367466 hasAuthorship W2201367466A5047161746 @default.
- W2201367466 hasAuthorship W2201367466A5055038225 @default.
- W2201367466 hasBestOaLocation W22013674661 @default.
- W2201367466 hasConcept C102951782 @default.
- W2201367466 hasConcept C133267278 @default.
- W2201367466 hasConcept C171250308 @default.
- W2201367466 hasConcept C192562407 @default.
- W2201367466 hasConcept C49040817 @default.
- W2201367466 hasConceptScore W2201367466C102951782 @default.
- W2201367466 hasConceptScore W2201367466C133267278 @default.
- W2201367466 hasConceptScore W2201367466C171250308 @default.
- W2201367466 hasConceptScore W2201367466C192562407 @default.
- W2201367466 hasConceptScore W2201367466C49040817 @default.
- W2201367466 hasLocation W22013674661 @default.
- W2201367466 hasOpenAccess W2201367466 @default.
- W2201367466 hasPrimaryLocation W22013674661 @default.
- W2201367466 isParatext "false" @default.
- W2201367466 isRetracted "false" @default.
- W2201367466 magId "2201367466" @default.
- W2201367466 workType "article" @default.