Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2255359611> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 73 of
73
with 100 items per page.
- W2255359611 abstract "Розроблена технологія виготовлення іонно-легованих структур GaAs. Імплантація іонів кремнію, берилію, цинку проводилась в підкладку із напівізолюючого арсеніду галію марки АГЧП-2а. Імплантація домішки через капсулююче покриття дозволило отримати досить високі значення рухливості носіїв струму в каналах польового транзистора Шотткі (ПТШ), що дозволяє формувати на них КМОН-структури. Застосування багатозарядної імплантації та імпульсного фотонного відпалу для активації n + -областей витоку і стоку забезпечило рівень ретроградного легування стік-витокових контактів на рівні (2–5)·10 18 см -3 ." @default.
- W2255359611 created "2016-06-24" @default.
- W2255359611 creator A5017694130 @default.
- W2255359611 creator A5044539557 @default.
- W2255359611 creator A5057138762 @default.
- W2255359611 creator A5068721403 @default.
- W2255359611 date "2015-12-25" @default.
- W2255359611 modified "2023-09-24" @default.
- W2255359611 title "Development of technology of multicharged ion implantation of GaAs for submicron structures of large-scale integrated circuits" @default.
- W2255359611 doi "https://doi.org/10.15587/1729-4061.2015.54233" @default.
- W2255359611 hasPublicationYear "2015" @default.
- W2255359611 type Work @default.
- W2255359611 sameAs 2255359611 @default.
- W2255359611 citedByCount "0" @default.
- W2255359611 crossrefType "journal-article" @default.
- W2255359611 hasAuthorship W2255359611A5017694130 @default.
- W2255359611 hasAuthorship W2255359611A5044539557 @default.
- W2255359611 hasAuthorship W2255359611A5057138762 @default.
- W2255359611 hasAuthorship W2255359611A5068721403 @default.
- W2255359611 hasBestOaLocation W22553596111 @default.
- W2255359611 hasConcept C121332964 @default.
- W2255359611 hasConcept C127413603 @default.
- W2255359611 hasConcept C145148216 @default.
- W2255359611 hasConcept C171250308 @default.
- W2255359611 hasConcept C178790620 @default.
- W2255359611 hasConcept C185592680 @default.
- W2255359611 hasConcept C192562407 @default.
- W2255359611 hasConcept C2778755073 @default.
- W2255359611 hasConcept C41823505 @default.
- W2255359611 hasConcept C49040817 @default.
- W2255359611 hasConcept C530198007 @default.
- W2255359611 hasConcept C61696701 @default.
- W2255359611 hasConcept C62520636 @default.
- W2255359611 hasConceptScore W2255359611C121332964 @default.
- W2255359611 hasConceptScore W2255359611C127413603 @default.
- W2255359611 hasConceptScore W2255359611C145148216 @default.
- W2255359611 hasConceptScore W2255359611C171250308 @default.
- W2255359611 hasConceptScore W2255359611C178790620 @default.
- W2255359611 hasConceptScore W2255359611C185592680 @default.
- W2255359611 hasConceptScore W2255359611C192562407 @default.
- W2255359611 hasConceptScore W2255359611C2778755073 @default.
- W2255359611 hasConceptScore W2255359611C41823505 @default.
- W2255359611 hasConceptScore W2255359611C49040817 @default.
- W2255359611 hasConceptScore W2255359611C530198007 @default.
- W2255359611 hasConceptScore W2255359611C61696701 @default.
- W2255359611 hasConceptScore W2255359611C62520636 @default.
- W2255359611 hasLocation W22553596111 @default.
- W2255359611 hasOpenAccess W2255359611 @default.
- W2255359611 hasPrimaryLocation W22553596111 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W1571498134 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W1573011315 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W1624127452 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W1942327499 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W1969742654 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W1977804714 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W1994372032 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W1995781945 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W1995890214 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W2014754868 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W2087985233 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W2156863842 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W2163430714 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W2509667459 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W2544617057 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W3090717506 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W3090931752 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W3145937863 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W3146890963 @default.
- W2255359611 hasRelatedWork W647027472 @default.
- W2255359611 isParatext "false" @default.
- W2255359611 isRetracted "false" @default.
- W2255359611 magId "2255359611" @default.
- W2255359611 workType "article" @default.