Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2290717287> ?p ?o ?g. }
- W2290717287 endingPage "2328" @default.
- W2290717287 startingPage "2319" @default.
- W2290717287 abstract "Single-source precursors Ru(CO)<sub>2</sub>(P(<italic>n</italic>-Bu)<sub>3</sub>)<sub>2</sub>(O<sub>2</sub>CR)<sub>2</sub> allow the successful deposition of Ru(P) layers by the CVD process." @default.
- W2290717287 created "2016-06-24" @default.
- W2290717287 creator A5032202329 @default.
- W2290717287 creator A5035562384 @default.
- W2290717287 creator A5039286027 @default.
- W2290717287 creator A5039877065 @default.
- W2290717287 creator A5047693293 @default.
- W2290717287 creator A5057158909 @default.
- W2290717287 creator A5058872102 @default.
- W2290717287 creator A5078990969 @default.
- W2290717287 creator A5088536141 @default.
- W2290717287 creator A5032716077 @default.
- W2290717287 date "2016-01-01" @default.
- W2290717287 modified "2023-09-29" @default.
- W2290717287 title "Chemical vapor deposition of ruthenium-based layers by a single-source approach" @default.
- W2290717287 cites W1488426599 @default.
- W2290717287 cites W1550056692 @default.
- W2290717287 cites W1964016685 @default.
- W2290717287 cites W1972297573 @default.
- W2290717287 cites W1977252097 @default.
- W2290717287 cites W1990170643 @default.
- W2290717287 cites W1991686603 @default.
- W2290717287 cites W1994345762 @default.
- W2290717287 cites W1999113933 @default.
- W2290717287 cites W2001957916 @default.
- W2290717287 cites W2005508921 @default.
- W2290717287 cites W2006555212 @default.
- W2290717287 cites W2009590030 @default.
- W2290717287 cites W2010851420 @default.
- W2290717287 cites W2011049633 @default.
- W2290717287 cites W2015644074 @default.
- W2290717287 cites W2016592109 @default.
- W2290717287 cites W2020192844 @default.
- W2290717287 cites W2031736142 @default.
- W2290717287 cites W2046709975 @default.
- W2290717287 cites W2050022183 @default.
- W2290717287 cites W2053535968 @default.
- W2290717287 cites W2056145669 @default.
- W2290717287 cites W2056415544 @default.
- W2290717287 cites W2061216668 @default.
- W2290717287 cites W2062429380 @default.
- W2290717287 cites W2066510743 @default.
- W2290717287 cites W2067341426 @default.
- W2290717287 cites W2070805839 @default.
- W2290717287 cites W2072908100 @default.
- W2290717287 cites W2073931921 @default.
- W2290717287 cites W2078524837 @default.
- W2290717287 cites W2080722578 @default.
- W2290717287 cites W2087510768 @default.
- W2290717287 cites W2089637637 @default.
- W2290717287 cites W2090510284 @default.
- W2290717287 cites W2107569624 @default.
- W2290717287 cites W2107589368 @default.
- W2290717287 cites W2110108627 @default.
- W2290717287 cites W2131350133 @default.
- W2290717287 cites W2157210040 @default.
- W2290717287 cites W2160746755 @default.
- W2290717287 cites W2168565349 @default.
- W2290717287 cites W2261939972 @default.
- W2290717287 cites W2318660187 @default.
- W2290717287 cites W1980483869 @default.
- W2290717287 cites W1996125524 @default.
- W2290717287 doi "https://doi.org/10.1039/c5tc03930d" @default.
- W2290717287 hasPublicationYear "2016" @default.
- W2290717287 type Work @default.
- W2290717287 sameAs 2290717287 @default.
- W2290717287 citedByCount "6" @default.
- W2290717287 countsByYear W22907172872016 @default.
- W2290717287 countsByYear W22907172872018 @default.
- W2290717287 countsByYear W22907172872019 @default.
- W2290717287 countsByYear W22907172872020 @default.
- W2290717287 countsByYear W22907172872023 @default.
- W2290717287 crossrefType "journal-article" @default.
- W2290717287 hasAuthorship W2290717287A5032202329 @default.
- W2290717287 hasAuthorship W2290717287A5032716077 @default.
- W2290717287 hasAuthorship W2290717287A5035562384 @default.
- W2290717287 hasAuthorship W2290717287A5039286027 @default.
- W2290717287 hasAuthorship W2290717287A5039877065 @default.
- W2290717287 hasAuthorship W2290717287A5047693293 @default.
- W2290717287 hasAuthorship W2290717287A5057158909 @default.
- W2290717287 hasAuthorship W2290717287A5058872102 @default.
- W2290717287 hasAuthorship W2290717287A5078990969 @default.
- W2290717287 hasAuthorship W2290717287A5088536141 @default.
- W2290717287 hasBestOaLocation W22907172871 @default.
- W2290717287 hasConcept C127413603 @default.
- W2290717287 hasConcept C151730666 @default.
- W2290717287 hasConcept C159467904 @default.
- W2290717287 hasConcept C161790260 @default.
- W2290717287 hasConcept C171250308 @default.
- W2290717287 hasConcept C178790620 @default.
- W2290717287 hasConcept C185592680 @default.
- W2290717287 hasConcept C192562407 @default.
- W2290717287 hasConcept C2816523 @default.
- W2290717287 hasConcept C42360764 @default.
- W2290717287 hasConcept C555196967 @default.
- W2290717287 hasConcept C57410435 @default.
- W2290717287 hasConcept C61696701 @default.
- W2290717287 hasConcept C64297162 @default.