Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2324795564> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 71 of
71
with 100 items per page.
- W2324795564 endingPage "181" @default.
- W2324795564 startingPage "177" @default.
- W2324795564 abstract "シリコンウェーハ表面に存在する自然酸化膜による微量の金属不純物の定量分析法を検討した.HF蒸気により自然酸化膜を分解し,完全に回収した溶液をメタル高温炉原子吸光分析法で分析する.本法による検出下限は,用いた原子吸光分析装置の検出下限値から換算した.その値は,Al:2×1010atoms/cm2,Fe:2×109atoms/cm2,Ni:2×109atoms/cm2,Cu:3×109atoms/cm2である.定量的にシリコンウェーハを汚染させて熱処理前後の各種金属不純物の挙動を,今回検討した分析法,SIMS分析法及びICP-AES分析法で調べた.その結果,元素によって挙動は異なり,特にAl,Feは熱酸化膜中に残存しやすく,Ni,Cuはシリコン内部に拡散しやすいことが明らかになった." @default.
- W2324795564 created "2016-06-24" @default.
- W2324795564 creator A5002622111 @default.
- W2324795564 creator A5030850577 @default.
- W2324795564 creator A5047848595 @default.
- W2324795564 creator A5075554043 @default.
- W2324795564 creator A5076409348 @default.
- W2324795564 date "1989-01-01" @default.
- W2324795564 modified "2023-10-16" @default.
- W2324795564 title "Determination of metallic impurities on the surface of silicon wafers." @default.
- W2324795564 doi "https://doi.org/10.2116/bunsekikagaku.38.4_177" @default.
- W2324795564 hasPublicationYear "1989" @default.
- W2324795564 type Work @default.
- W2324795564 sameAs 2324795564 @default.
- W2324795564 citedByCount "14" @default.
- W2324795564 crossrefType "journal-article" @default.
- W2324795564 hasAuthorship W2324795564A5002622111 @default.
- W2324795564 hasAuthorship W2324795564A5030850577 @default.
- W2324795564 hasAuthorship W2324795564A5047848595 @default.
- W2324795564 hasAuthorship W2324795564A5075554043 @default.
- W2324795564 hasAuthorship W2324795564A5076409348 @default.
- W2324795564 hasBestOaLocation W23247955641 @default.
- W2324795564 hasConcept C113196181 @default.
- W2324795564 hasConcept C160671074 @default.
- W2324795564 hasConcept C171250308 @default.
- W2324795564 hasConcept C178790620 @default.
- W2324795564 hasConcept C185592680 @default.
- W2324795564 hasConcept C191897082 @default.
- W2324795564 hasConcept C192562407 @default.
- W2324795564 hasConcept C2524010 @default.
- W2324795564 hasConcept C2776799497 @default.
- W2324795564 hasConcept C33923547 @default.
- W2324795564 hasConcept C43617362 @default.
- W2324795564 hasConcept C544153396 @default.
- W2324795564 hasConcept C544956773 @default.
- W2324795564 hasConcept C71987851 @default.
- W2324795564 hasConceptScore W2324795564C113196181 @default.
- W2324795564 hasConceptScore W2324795564C160671074 @default.
- W2324795564 hasConceptScore W2324795564C171250308 @default.
- W2324795564 hasConceptScore W2324795564C178790620 @default.
- W2324795564 hasConceptScore W2324795564C185592680 @default.
- W2324795564 hasConceptScore W2324795564C191897082 @default.
- W2324795564 hasConceptScore W2324795564C192562407 @default.
- W2324795564 hasConceptScore W2324795564C2524010 @default.
- W2324795564 hasConceptScore W2324795564C2776799497 @default.
- W2324795564 hasConceptScore W2324795564C33923547 @default.
- W2324795564 hasConceptScore W2324795564C43617362 @default.
- W2324795564 hasConceptScore W2324795564C544153396 @default.
- W2324795564 hasConceptScore W2324795564C544956773 @default.
- W2324795564 hasConceptScore W2324795564C71987851 @default.
- W2324795564 hasIssue "4" @default.
- W2324795564 hasLocation W23247955641 @default.
- W2324795564 hasOpenAccess W2324795564 @default.
- W2324795564 hasPrimaryLocation W23247955641 @default.
- W2324795564 hasRelatedWork W1998210601 @default.
- W2324795564 hasRelatedWork W2018015368 @default.
- W2324795564 hasRelatedWork W2032781719 @default.
- W2324795564 hasRelatedWork W2066737639 @default.
- W2324795564 hasRelatedWork W2086944350 @default.
- W2324795564 hasRelatedWork W2150486555 @default.
- W2324795564 hasRelatedWork W2370887536 @default.
- W2324795564 hasRelatedWork W2494069192 @default.
- W2324795564 hasRelatedWork W2531948254 @default.
- W2324795564 hasRelatedWork W2890209042 @default.
- W2324795564 hasVolume "38" @default.
- W2324795564 isParatext "false" @default.
- W2324795564 isRetracted "false" @default.
- W2324795564 magId "2324795564" @default.
- W2324795564 workType "article" @default.