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- W2539028960 abstract "【はじめに】キャリア再結合を抑制する表 面パッシベーション技術は結晶 Si太陽電池 の変換効率向上において最重要技術の一つ である。SiN 膜は光閉じ込めのための反射 防止膜としての機能に加えて、優れた表面 パッシベーション特性を示すことから表面 コーティング材料として使用されている。 しかし、SiN/Si 界面における電子化学状態 に注目した物理特性は未だ十分に明らかに されていない。本研究では X線プローブ評 価 (X 線反射率 (XRR)および光電子分光 (XPS))を用いて SiN/Si 界面における物理特 性を明らかにし、パッシベーション特性に 関して議論する。 【実験】p型 Siウェーハ(5-8Ω∙cm)を基板 として使用した。SiN 膜は SiH4、NH3及び N2 ガスを利用したプラズマ CVD 法により 基板上に膜厚18および30-nm堆積した。SiN 膜の密度及び界面ラフネスを XRR で、SiN 膜中における化学結合状態とその深さ方向 分布を XPSで評価した。 【結果】XRR プロファイル解析で得た SiN 膜内の膜密度分布を表 1 に示す。表 1 から 膜表面と界面で低密度層の存在が確認され た。図 1は SiN/Siにおける XPS深さ方向プ ロファイルを示す。表面と界面に酸素の混 入が確認された。また、界面に窒素 rich 層 (N-Si-N)が存在することが示唆された。化学 結合状態および密度分布がパッシベーショ ン特性に与える影響についてこれらの解析 を基に議論する。 【謝辞】本研究は NEDOの助成を受けて行われた。" @default.
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