Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2559878726> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 75 of
75
with 100 items per page.
- W2559878726 endingPage "236" @default.
- W2559878726 startingPage "233" @default.
- W2559878726 abstract "Sensing on the microscale using microelectromechanical systems (MEMS) has established itself commercially as one of the dominant world-wide sensing technologies, providing commercialised sensing solutions for pressure, inertia, temperature, as well as for more challenging applications in remote infrared imaging and energy harvesting. However, to date MEMS has not delivered any commercially successful chem/bio sensor, even though it has been established for some time that microcantilever-based sensing can detect chem/bio agents at the level of single molecules or even zeptograms (10 -21 g). The widespread application of this class of sensors has been largely impeded by the lack of a technology capable of performing high-resolution measurements of large arrays of MEMS devices. We demonstrate a technology capable of filling that need that is based on MEMS suspended microcantilevers and an on-chip optical read-out, and show an implementation of an effective toluene sensor. Streszczenie. Mikroczujniki wykonane w technologii MEMS zdominowaly światowe technologie dostarczając rozwiązan komercyjnych do pomiaru ciśnienia, bezwladności i temperatury. Pojawily sie rowniez bardziej zaawansowane zastosowania w dziedzinie zobrazowania podczerwieni i kumulacji energii. Do dzisiaj jednak nie udalo sie zademonstrowac komercyjnego czujnika chemiczno-biologicznego, chociaz raporty o wysokiej czulości mikro-belek umozliwiające rejestracje pojedynczej molekuly (zeptogramy, 10 -21 g) są juz dostepne w literaturze. Glownym problemem ograniczającym rozwoj tej technologii jest brak metod umozliwiających pomiar odksztalcenia matryc mikro-belek z wysoką rozdzielczością. Artykul prezentuje technologie otrzymania wymaganej rozdzielczości dla duzych matryc mikro-belek w technologii MEMS z wykorzystaniem metod optycznych. Jako przyklad zastosowania przedstawiono rezultaty dla czujnika toluenu. Rozwoj czujnikow MEMS z zintegrowanym systemem odczytu" @default.
- W2559878726 created "2016-12-16" @default.
- W2559878726 creator A5080797748 @default.
- W2559878726 date "2015-01-01" @default.
- W2559878726 modified "2023-09-24" @default.
- W2559878726 title "Towards MEMS-based chem/bio sensing arrays with on-chip optical read-out" @default.
- W2559878726 cites W1875933026 @default.
- W2559878726 cites W1990757963 @default.
- W2559878726 cites W2000964635 @default.
- W2559878726 cites W2033803490 @default.
- W2559878726 cites W2039514294 @default.
- W2559878726 cites W2047093090 @default.
- W2559878726 cites W2051080514 @default.
- W2559878726 cites W2057800132 @default.
- W2559878726 cites W2061543408 @default.
- W2559878726 cites W2071513719 @default.
- W2559878726 cites W2073169537 @default.
- W2559878726 cites W2149562261 @default.
- W2559878726 cites W2742012621 @default.
- W2559878726 cites W31818244 @default.
- W2559878726 hasPublicationYear "2015" @default.
- W2559878726 type Work @default.
- W2559878726 sameAs 2559878726 @default.
- W2559878726 citedByCount "0" @default.
- W2559878726 crossrefType "journal-article" @default.
- W2559878726 hasAuthorship W2559878726A5080797748 @default.
- W2559878726 hasConcept C119599485 @default.
- W2559878726 hasConcept C127413603 @default.
- W2559878726 hasConcept C145420912 @default.
- W2559878726 hasConcept C165005293 @default.
- W2559878726 hasConcept C171250308 @default.
- W2559878726 hasConcept C179428855 @default.
- W2559878726 hasConcept C192562407 @default.
- W2559878726 hasConcept C33923547 @default.
- W2559878726 hasConcept C37977207 @default.
- W2559878726 hasConcept C49040817 @default.
- W2559878726 hasConceptScore W2559878726C119599485 @default.
- W2559878726 hasConceptScore W2559878726C127413603 @default.
- W2559878726 hasConceptScore W2559878726C145420912 @default.
- W2559878726 hasConceptScore W2559878726C165005293 @default.
- W2559878726 hasConceptScore W2559878726C171250308 @default.
- W2559878726 hasConceptScore W2559878726C179428855 @default.
- W2559878726 hasConceptScore W2559878726C192562407 @default.
- W2559878726 hasConceptScore W2559878726C33923547 @default.
- W2559878726 hasConceptScore W2559878726C37977207 @default.
- W2559878726 hasConceptScore W2559878726C49040817 @default.
- W2559878726 hasLocation W25598787261 @default.
- W2559878726 hasOpenAccess W2559878726 @default.
- W2559878726 hasPrimaryLocation W25598787261 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W1023867624 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W2258771837 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W2272559126 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W2591709561 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W2605148330 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W2637824162 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W2730938806 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W2807463431 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W2914956475 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W3005220108 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W3032875819 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W3170699378 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W2185903978 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W2610660365 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W2804605487 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W2830294713 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W2835514926 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W2924741277 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W2929574810 @default.
- W2559878726 hasRelatedWork W3020121752 @default.
- W2559878726 isParatext "false" @default.
- W2559878726 isRetracted "false" @default.
- W2559878726 magId "2559878726" @default.
- W2559878726 workType "article" @default.