Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2732176116> ?p ?o ?g. }
- W2732176116 endingPage "354003" @default.
- W2732176116 startingPage "354003" @default.
- W2732176116 abstract "The time-dependent plasma discharge ionization region model (IRM) has been under continuous development during the past decade and used in several studies of the ionization region of high-power imp ..." @default.
- W2732176116 created "2017-07-14" @default.
- W2732176116 creator A5011397812 @default.
- W2732176116 creator A5016682524 @default.
- W2732176116 creator A5029504621 @default.
- W2732176116 creator A5033303813 @default.
- W2732176116 creator A5056836367 @default.
- W2732176116 creator A5090757549 @default.
- W2732176116 date "2017-08-08" @default.
- W2732176116 modified "2023-10-18" @default.
- W2732176116 title "Particle-balance models for pulsed sputtering magnetrons" @default.
- W2732176116 cites W1939466978 @default.
- W2732176116 cites W1950087651 @default.
- W2732176116 cites W1967588967 @default.
- W2732176116 cites W1968774771 @default.
- W2732176116 cites W1980899127 @default.
- W2732176116 cites W1980968722 @default.
- W2732176116 cites W1983269298 @default.
- W2732176116 cites W1986852179 @default.
- W2732176116 cites W1990118392 @default.
- W2732176116 cites W1993502889 @default.
- W2732176116 cites W1996468461 @default.
- W2732176116 cites W1999041916 @default.
- W2732176116 cites W2000258352 @default.
- W2732176116 cites W2001577202 @default.
- W2732176116 cites W2003939019 @default.
- W2732176116 cites W2009264681 @default.
- W2732176116 cites W2009661921 @default.
- W2732176116 cites W2009978231 @default.
- W2732176116 cites W2012769467 @default.
- W2732176116 cites W2019023010 @default.
- W2732176116 cites W2019629906 @default.
- W2732176116 cites W2025132403 @default.
- W2732176116 cites W2025801567 @default.
- W2732176116 cites W2026142059 @default.
- W2732176116 cites W2027839237 @default.
- W2732176116 cites W2034904407 @default.
- W2732176116 cites W2037654956 @default.
- W2732176116 cites W2040285553 @default.
- W2732176116 cites W2045554167 @default.
- W2732176116 cites W2062300915 @default.
- W2732176116 cites W2062660564 @default.
- W2732176116 cites W2063568940 @default.
- W2732176116 cites W2064244340 @default.
- W2732176116 cites W2064864833 @default.
- W2732176116 cites W2077344119 @default.
- W2732176116 cites W2080431856 @default.
- W2732176116 cites W2084461123 @default.
- W2732176116 cites W2086727379 @default.
- W2732176116 cites W2088938077 @default.
- W2732176116 cites W2090071143 @default.
- W2732176116 cites W2090910147 @default.
- W2732176116 cites W2092118100 @default.
- W2732176116 cites W2094263162 @default.
- W2732176116 cites W2105814907 @default.
- W2732176116 cites W2120723308 @default.
- W2732176116 cites W2147824048 @default.
- W2732176116 cites W2147894069 @default.
- W2732176116 cites W2161508873 @default.
- W2732176116 cites W2163258984 @default.
- W2732176116 cites W2171488766 @default.
- W2732176116 cites W2231067664 @default.
- W2732176116 cites W2330547225 @default.
- W2732176116 cites W2493880907 @default.
- W2732176116 cites W2528800025 @default.
- W2732176116 cites W2529195336 @default.
- W2732176116 cites W2549532332 @default.
- W2732176116 cites W2586457035 @default.
- W2732176116 cites W2593365188 @default.
- W2732176116 cites W2596336066 @default.
- W2732176116 doi "https://doi.org/10.1088/1361-6463/aa7d35" @default.
- W2732176116 hasPublicationYear "2017" @default.
- W2732176116 type Work @default.
- W2732176116 sameAs 2732176116 @default.
- W2732176116 citedByCount "50" @default.
- W2732176116 countsByYear W27321761162018 @default.
- W2732176116 countsByYear W27321761162019 @default.
- W2732176116 countsByYear W27321761162020 @default.
- W2732176116 countsByYear W27321761162021 @default.
- W2732176116 countsByYear W27321761162022 @default.
- W2732176116 countsByYear W27321761162023 @default.
- W2732176116 crossrefType "journal-article" @default.
- W2732176116 hasAuthorship W2732176116A5011397812 @default.
- W2732176116 hasAuthorship W2732176116A5016682524 @default.
- W2732176116 hasAuthorship W2732176116A5029504621 @default.
- W2732176116 hasAuthorship W2732176116A5033303813 @default.
- W2732176116 hasAuthorship W2732176116A5056836367 @default.
- W2732176116 hasAuthorship W2732176116A5090757549 @default.
- W2732176116 hasConcept C168031717 @default.
- W2732176116 hasConcept C169760540 @default.
- W2732176116 hasConcept C171250308 @default.
- W2732176116 hasConcept C18903297 @default.
- W2732176116 hasConcept C19067145 @default.
- W2732176116 hasConcept C192562407 @default.
- W2732176116 hasConcept C22423302 @default.
- W2732176116 hasConcept C2778517922 @default.
- W2732176116 hasConcept C86803240 @default.
- W2732176116 hasConceptScore W2732176116C168031717 @default.