Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2809782173> ?p ?o ?g. }
- W2809782173 endingPage "7376" @default.
- W2809782173 startingPage "7367" @default.
- W2809782173 abstract "Theoretical and experimental studies were performed on surface reactions during film growth and electrical properties of HfO<sub>2</sub> using two different Hf precursors, HfCl<sub>4</sub> and Hf(N(CH<sub>3</sub>)<sub>2</sub>)<sub>4</sub>." @default.
- W2809782173 created "2018-07-10" @default.
- W2809782173 creator A5010851783 @default.
- W2809782173 creator A5013201243 @default.
- W2809782173 creator A5030986328 @default.
- W2809782173 creator A5033604017 @default.
- W2809782173 creator A5044553288 @default.
- W2809782173 creator A5057497927 @default.
- W2809782173 creator A5060160969 @default.
- W2809782173 creator A5065335445 @default.
- W2809782173 date "2018-01-01" @default.
- W2809782173 modified "2023-10-17" @default.
- W2809782173 title "Comparative study of the growth characteristics and electrical properties of atomic-layer-deposited HfO<sub>2</sub> films obtained from metal halide and amide precursors" @default.
- W2809782173 cites W103493881 @default.
- W2809782173 cites W1619434498 @default.
- W2809782173 cites W1644530161 @default.
- W2809782173 cites W1829376423 @default.
- W2809782173 cites W1886273882 @default.
- W2809782173 cites W1908921139 @default.
- W2809782173 cites W1968080336 @default.
- W2809782173 cites W1973957091 @default.
- W2809782173 cites W1974675977 @default.
- W2809782173 cites W1977635964 @default.
- W2809782173 cites W1977741730 @default.
- W2809782173 cites W1981368803 @default.
- W2809782173 cites W1984745183 @default.
- W2809782173 cites W1988091937 @default.
- W2809782173 cites W1988581807 @default.
- W2809782173 cites W1989784523 @default.
- W2809782173 cites W1991823658 @default.
- W2809782173 cites W1993614411 @default.
- W2809782173 cites W1993711106 @default.
- W2809782173 cites W2003124709 @default.
- W2809782173 cites W2004939127 @default.
- W2809782173 cites W2008423326 @default.
- W2809782173 cites W2009185772 @default.
- W2809782173 cites W2010569326 @default.
- W2809782173 cites W2010763500 @default.
- W2809782173 cites W2015723183 @default.
- W2809782173 cites W2017189043 @default.
- W2809782173 cites W2017926590 @default.
- W2809782173 cites W2022609963 @default.
- W2809782173 cites W2025627705 @default.
- W2809782173 cites W2028022118 @default.
- W2809782173 cites W2028186930 @default.
- W2809782173 cites W2028285903 @default.
- W2809782173 cites W2029925702 @default.
- W2809782173 cites W2031695124 @default.
- W2809782173 cites W2035415368 @default.
- W2809782173 cites W2041246757 @default.
- W2809782173 cites W2050756015 @default.
- W2809782173 cites W2051400932 @default.
- W2809782173 cites W2051751116 @default.
- W2809782173 cites W2052340188 @default.
- W2809782173 cites W2053450209 @default.
- W2809782173 cites W2053550864 @default.
- W2809782173 cites W2053674573 @default.
- W2809782173 cites W2057742828 @default.
- W2809782173 cites W2058043629 @default.
- W2809782173 cites W2058210956 @default.
- W2809782173 cites W2061882567 @default.
- W2809782173 cites W2072318564 @default.
- W2809782173 cites W2072599477 @default.
- W2809782173 cites W2075523616 @default.
- W2809782173 cites W2076691085 @default.
- W2809782173 cites W2077313146 @default.
- W2809782173 cites W2077770884 @default.
- W2809782173 cites W2078146328 @default.
- W2809782173 cites W2081769405 @default.
- W2809782173 cites W2082037815 @default.
- W2809782173 cites W2082691688 @default.
- W2809782173 cites W2085199192 @default.
- W2809782173 cites W2086043061 @default.
- W2809782173 cites W2089653545 @default.
- W2809782173 cites W2107778669 @default.
- W2809782173 cites W2118155588 @default.
- W2809782173 cites W2118921812 @default.
- W2809782173 cites W2134869306 @default.
- W2809782173 cites W2141185951 @default.
- W2809782173 cites W2154858268 @default.
- W2809782173 cites W2166274113 @default.
- W2809782173 cites W2169922657 @default.
- W2809782173 cites W2288984316 @default.
- W2809782173 cites W2295951360 @default.
- W2809782173 cites W2310938152 @default.
- W2809782173 cites W2461702741 @default.
- W2809782173 cites W288763374 @default.
- W2809782173 doi "https://doi.org/10.1039/c8tc01476k" @default.
- W2809782173 hasPublicationYear "2018" @default.
- W2809782173 type Work @default.
- W2809782173 sameAs 2809782173 @default.
- W2809782173 citedByCount "38" @default.
- W2809782173 countsByYear W28097821732019 @default.
- W2809782173 countsByYear W28097821732020 @default.
- W2809782173 countsByYear W28097821732021 @default.
- W2809782173 countsByYear W28097821732022 @default.
- W2809782173 countsByYear W28097821732023 @default.
- W2809782173 crossrefType "journal-article" @default.