Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2896906600> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 53 of
53
with 100 items per page.
- W2896906600 abstract "Les caracteristiques electriques de couches de SiO2 deposees par PECVD-TEOS, destinees a la passivation primaire de composants de puissance en carbure de silicium (SiC) sont etudiees. Bien que ce type de films soit deja tres utilise, leurs proprietes sont peu connues aux temperatures elevees voisines de 250 °C et au-dela, telles que visees par les nouveaux dispositifs en SiC. Les resultats ont montre qu'un traitement thermique de ce type de depot de SiO2 permet d'ameliorer ses performances electriques. La rigidite dielectrique des films recuits a 400 °C durant une heure sous azote, mesuree dans une gamme de temperature etendue jusqu'a 300°C indique que ce type de materiau reste un bon candidat pour la passivation primaire a haute temperature, avec une rigidite dielectrique voisine de 6 MV/cm a 300°C, valeur tres elevee comparee a celles d'autres materiaux utilises pour la passivation des composants." @default.
- W2896906600 created "2018-10-26" @default.
- W2896906600 creator A5009617842 @default.
- W2896906600 creator A5030935309 @default.
- W2896906600 creator A5056386743 @default.
- W2896906600 creator A5066862351 @default.
- W2896906600 creator A5068880132 @default.
- W2896906600 creator A5088198426 @default.
- W2896906600 date "2014-07-08" @default.
- W2896906600 modified "2023-09-24" @default.
- W2896906600 title "Propriétés diélectriques à haute température de couches de SiO2 déposées par PECVD TEOS" @default.
- W2896906600 cites W1996448605 @default.
- W2896906600 cites W2040200521 @default.
- W2896906600 cites W2727420541 @default.
- W2896906600 hasPublicationYear "2014" @default.
- W2896906600 type Work @default.
- W2896906600 sameAs 2896906600 @default.
- W2896906600 citedByCount "0" @default.
- W2896906600 crossrefType "proceedings-article" @default.
- W2896906600 hasAuthorship W2896906600A5009617842 @default.
- W2896906600 hasAuthorship W2896906600A5030935309 @default.
- W2896906600 hasAuthorship W2896906600A5056386743 @default.
- W2896906600 hasAuthorship W2896906600A5066862351 @default.
- W2896906600 hasAuthorship W2896906600A5068880132 @default.
- W2896906600 hasAuthorship W2896906600A5088198426 @default.
- W2896906600 hasBestOaLocation W28969066001 @default.
- W2896906600 hasConcept C192562407 @default.
- W2896906600 hasConcept C38347018 @default.
- W2896906600 hasConcept C49040817 @default.
- W2896906600 hasConcept C544956773 @default.
- W2896906600 hasConceptScore W2896906600C192562407 @default.
- W2896906600 hasConceptScore W2896906600C38347018 @default.
- W2896906600 hasConceptScore W2896906600C49040817 @default.
- W2896906600 hasConceptScore W2896906600C544956773 @default.
- W2896906600 hasLocation W28969066001 @default.
- W2896906600 hasLocation W28969066002 @default.
- W2896906600 hasLocation W28969066003 @default.
- W2896906600 hasOpenAccess W2896906600 @default.
- W2896906600 hasPrimaryLocation W28969066001 @default.
- W2896906600 hasRelatedWork W142624727 @default.
- W2896906600 hasRelatedWork W1963703370 @default.
- W2896906600 hasRelatedWork W2002152537 @default.
- W2896906600 hasRelatedWork W2124081025 @default.
- W2896906600 hasRelatedWork W2315275742 @default.
- W2896906600 hasRelatedWork W2737498735 @default.
- W2896906600 hasRelatedWork W2898370298 @default.
- W2896906600 hasRelatedWork W2899084033 @default.
- W2896906600 hasRelatedWork W4292492973 @default.
- W2896906600 hasRelatedWork W4297186273 @default.
- W2896906600 isParatext "false" @default.
- W2896906600 isRetracted "false" @default.
- W2896906600 magId "2896906600" @default.
- W2896906600 workType "article" @default.