Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2914423143> ?p ?o ?g. }
- W2914423143 endingPage "451" @default.
- W2914423143 startingPage "411" @default.
- W2914423143 abstract "This chapter contains sections titled: Introduction Single crystalline SiC Polycrystalline SiC Amorphous SiC Conclusions References" @default.
- W2914423143 created "2019-02-21" @default.
- W2914423143 creator A5001994666 @default.
- W2914423143 creator A5081212926 @default.
- W2914423143 date "2009-10-21" @default.
- W2914423143 modified "2023-09-27" @default.
- W2914423143 title "Micro- and Nanomechanical Structures for Silicon Carbide MEMS and NEMS" @default.
- W2914423143 cites W1541111193 @default.
- W2914423143 cites W1964680149 @default.
- W2914423143 cites W1965456950 @default.
- W2914423143 cites W1966291412 @default.
- W2914423143 cites W1966463079 @default.
- W2914423143 cites W1966800141 @default.
- W2914423143 cites W1967242874 @default.
- W2914423143 cites W1968527855 @default.
- W2914423143 cites W1968842639 @default.
- W2914423143 cites W1969195006 @default.
- W2914423143 cites W1969817431 @default.
- W2914423143 cites W1971359252 @default.
- W2914423143 cites W1972091828 @default.
- W2914423143 cites W1973671776 @default.
- W2914423143 cites W1978219962 @default.
- W2914423143 cites W1978258110 @default.
- W2914423143 cites W1980150022 @default.
- W2914423143 cites W1980843058 @default.
- W2914423143 cites W1986870818 @default.
- W2914423143 cites W1988791833 @default.
- W2914423143 cites W1989147215 @default.
- W2914423143 cites W1990830793 @default.
- W2914423143 cites W1993606961 @default.
- W2914423143 cites W1993884523 @default.
- W2914423143 cites W1994933392 @default.
- W2914423143 cites W1996261747 @default.
- W2914423143 cites W1998982715 @default.
- W2914423143 cites W1999081248 @default.
- W2914423143 cites W1999420672 @default.
- W2914423143 cites W2001341936 @default.
- W2914423143 cites W2001590689 @default.
- W2914423143 cites W2002498224 @default.
- W2914423143 cites W2003851062 @default.
- W2914423143 cites W2005409383 @default.
- W2914423143 cites W2006614703 @default.
- W2914423143 cites W2008924171 @default.
- W2914423143 cites W2008967554 @default.
- W2914423143 cites W2009085362 @default.
- W2914423143 cites W2009451423 @default.
- W2914423143 cites W2009958617 @default.
- W2914423143 cites W2012772051 @default.
- W2914423143 cites W2013162358 @default.
- W2914423143 cites W2013628591 @default.
- W2914423143 cites W2015231936 @default.
- W2914423143 cites W2015493800 @default.
- W2914423143 cites W2016725527 @default.
- W2914423143 cites W2019140731 @default.
- W2914423143 cites W2020656812 @default.
- W2914423143 cites W2023288568 @default.
- W2914423143 cites W2026548554 @default.
- W2914423143 cites W2029588531 @default.
- W2914423143 cites W2032774610 @default.
- W2914423143 cites W2035231262 @default.
- W2914423143 cites W2035793766 @default.
- W2914423143 cites W2035900380 @default.
- W2914423143 cites W2036384877 @default.
- W2914423143 cites W2037631855 @default.
- W2914423143 cites W2039616483 @default.
- W2914423143 cites W2042066289 @default.
- W2914423143 cites W2042955593 @default.
- W2914423143 cites W2043601819 @default.
- W2914423143 cites W2048037812 @default.
- W2914423143 cites W2049900425 @default.
- W2914423143 cites W2051435017 @default.
- W2914423143 cites W2051618165 @default.
- W2914423143 cites W2056916882 @default.
- W2914423143 cites W2057101210 @default.
- W2914423143 cites W2057451432 @default.
- W2914423143 cites W2064069117 @default.
- W2914423143 cites W2064849088 @default.
- W2914423143 cites W2065089000 @default.
- W2914423143 cites W2066804076 @default.
- W2914423143 cites W2070512374 @default.
- W2914423143 cites W2072017538 @default.
- W2914423143 cites W2072854394 @default.
- W2914423143 cites W2073944291 @default.
- W2914423143 cites W2074388625 @default.
- W2914423143 cites W2075445943 @default.
- W2914423143 cites W2075448644 @default.
- W2914423143 cites W2076132072 @default.
- W2914423143 cites W2076943938 @default.
- W2914423143 cites W2077009280 @default.
- W2914423143 cites W2077043449 @default.
- W2914423143 cites W2078388259 @default.
- W2914423143 cites W2079217369 @default.
- W2914423143 cites W2081643262 @default.
- W2914423143 cites W2082061305 @default.
- W2914423143 cites W2083029045 @default.
- W2914423143 cites W2083465561 @default.
- W2914423143 cites W2084064945 @default.
- W2914423143 cites W2084839438 @default.