Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2954641003> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 46 of
46
with 100 items per page.
- W2954641003 abstract "Представлены результаты исследований влияния контаминации в раствором электронном микроскопе S-4800 при энергии электронов 1 кэВ на профиль рельефных элементов меры МШПС-2.0К. Показано, что после электронного облучения ширина верхнего основания рельефных элементов увеличивается в зависимости от дозы облучения при его разных режимах.The results of study of the contamination effect of in S-4800 SEM at electron energy 1 keV on the profile of relief elements of the MSHPS-2.0K measure are presented. It is shown that the electron irradiation leads to increase of the relief elements upper base subject to the electron irradiation dose at different irradiation modes." @default.
- W2954641003 created "2019-07-12" @default.
- W2954641003 creator A5000336628 @default.
- W2954641003 creator A5027660485 @default.
- W2954641003 creator A5041357909 @default.
- W2954641003 creator A5048398090 @default.
- W2954641003 creator A5052916276 @default.
- W2954641003 creator A5076124310 @default.
- W2954641003 creator A5090411871 @default.
- W2954641003 date "2013-01-01" @default.
- W2954641003 modified "2023-09-24" @default.
- W2954641003 title "ИСКАЖЕНИЕ ПРОФИЛЯ РЕЛЬЕФНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ПОВЕРХНОСТИ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ В РЕЗУЛЬТАТЕ ИХ КОНТАМИНАЦИИ В НИЗКОВОЛЬТНОМ РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ" @default.
- W2954641003 hasPublicationYear "2013" @default.
- W2954641003 type Work @default.
- W2954641003 sameAs 2954641003 @default.
- W2954641003 citedByCount "0" @default.
- W2954641003 crossrefType "journal-article" @default.
- W2954641003 hasAuthorship W2954641003A5000336628 @default.
- W2954641003 hasAuthorship W2954641003A5027660485 @default.
- W2954641003 hasAuthorship W2954641003A5041357909 @default.
- W2954641003 hasAuthorship W2954641003A5048398090 @default.
- W2954641003 hasAuthorship W2954641003A5052916276 @default.
- W2954641003 hasAuthorship W2954641003A5076124310 @default.
- W2954641003 hasAuthorship W2954641003A5090411871 @default.
- W2954641003 hasConcept C105163801 @default.
- W2954641003 hasConcept C111337013 @default.
- W2954641003 hasConcept C121332964 @default.
- W2954641003 hasConcept C177322064 @default.
- W2954641003 hasConcept C185544564 @default.
- W2954641003 hasConcept C185592680 @default.
- W2954641003 hasConcept C192562407 @default.
- W2954641003 hasConceptScore W2954641003C105163801 @default.
- W2954641003 hasConceptScore W2954641003C111337013 @default.
- W2954641003 hasConceptScore W2954641003C121332964 @default.
- W2954641003 hasConceptScore W2954641003C177322064 @default.
- W2954641003 hasConceptScore W2954641003C185544564 @default.
- W2954641003 hasConceptScore W2954641003C185592680 @default.
- W2954641003 hasConceptScore W2954641003C192562407 @default.
- W2954641003 hasIssue "3" @default.
- W2954641003 hasLocation W29546410031 @default.
- W2954641003 hasOpenAccess W2954641003 @default.
- W2954641003 hasPrimaryLocation W29546410031 @default.
- W2954641003 isParatext "false" @default.
- W2954641003 isRetracted "false" @default.
- W2954641003 magId "2954641003" @default.
- W2954641003 workType "article" @default.