Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W3007204077> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 53 of
53
with 100 items per page.
- W3007204077 abstract "Проведены исследования возможности интеграции эпитаксиальных SiC- и AlN-технологий с использованием противоположных граней общей SiC-подложки (эпитаксия AlN осуществлялась на заключительном этапе) с точки зрения сохранения исходного качества ранее полученных SiC-слоев. В частности, исследовано влияние AlN-гетероэпитаксии и сопутствующих ей упругих напряжений на перераспределение концентрации легирующей примеси в SiC-слоях, а также связанную с этим процессом трансформацию распределения локальных значений напряжения пробоя барьерных диодов. В качестве диагностической процедуры изучения возможных негативных последствий длительного роста (~3 h, ~60 μm) использовались измерения обратных ветвей вольт-амперных характеристик матриц поверхностно-барьерных диодов типа Au-SiC, которые преднамеренно создавались до и непосредственно после проведения процесса AlN-эпитаксии и удалялись после осуществления соответствующего комплекса измерений. Статистическая обработка значений напряжений пробоя, в том числе и вычисление гистограмм, показала, что изменение средних значений и дисперсии как для слоев n-, так и для слоев p-типа оказалось незначительным. Ключевые слова: широкозонные полупроводники, SiC, AlN, высокотемпературная электроника, функциональная электроника." @default.
- W3007204077 created "2020-03-06" @default.
- W3007204077 creator A5004080708 @default.
- W3007204077 creator A5020480804 @default.
- W3007204077 creator A5027630876 @default.
- W3007204077 creator A5042003057 @default.
- W3007204077 creator A5052373560 @default.
- W3007204077 date "2020-01-01" @default.
- W3007204077 modified "2023-09-24" @default.
- W3007204077 title "Бипланарные эпитаксиальные AlN/SiC/(n,p)SiC-структуры для приборов высокотемпературной функциональной электроники" @default.
- W3007204077 doi "https://doi.org/10.21883/jtf.2020.03.48930.306-19" @default.
- W3007204077 hasPublicationYear "2020" @default.
- W3007204077 type Work @default.
- W3007204077 sameAs 3007204077 @default.
- W3007204077 citedByCount "0" @default.
- W3007204077 crossrefType "journal-article" @default.
- W3007204077 hasAuthorship W3007204077A5004080708 @default.
- W3007204077 hasAuthorship W3007204077A5020480804 @default.
- W3007204077 hasAuthorship W3007204077A5027630876 @default.
- W3007204077 hasAuthorship W3007204077A5042003057 @default.
- W3007204077 hasAuthorship W3007204077A5052373560 @default.
- W3007204077 hasBestOaLocation W30072040771 @default.
- W3007204077 hasConcept C159985019 @default.
- W3007204077 hasConcept C185592680 @default.
- W3007204077 hasConcept C189278905 @default.
- W3007204077 hasConcept C192562407 @default.
- W3007204077 hasConcept C2780722187 @default.
- W3007204077 hasConcept C49040817 @default.
- W3007204077 hasConcept C8010536 @default.
- W3007204077 hasConceptScore W3007204077C159985019 @default.
- W3007204077 hasConceptScore W3007204077C185592680 @default.
- W3007204077 hasConceptScore W3007204077C189278905 @default.
- W3007204077 hasConceptScore W3007204077C192562407 @default.
- W3007204077 hasConceptScore W3007204077C2780722187 @default.
- W3007204077 hasConceptScore W3007204077C49040817 @default.
- W3007204077 hasConceptScore W3007204077C8010536 @default.
- W3007204077 hasLocation W30072040771 @default.
- W3007204077 hasOpenAccess W3007204077 @default.
- W3007204077 hasPrimaryLocation W30072040771 @default.
- W3007204077 hasRelatedWork W11168706 @default.
- W3007204077 hasRelatedWork W12064936 @default.
- W3007204077 hasRelatedWork W14491578 @default.
- W3007204077 hasRelatedWork W17741277 @default.
- W3007204077 hasRelatedWork W27732122 @default.
- W3007204077 hasRelatedWork W31503462 @default.
- W3007204077 hasRelatedWork W41999275 @default.
- W3007204077 hasRelatedWork W46821495 @default.
- W3007204077 hasRelatedWork W47660773 @default.
- W3007204077 hasRelatedWork W48084317 @default.
- W3007204077 isParatext "false" @default.
- W3007204077 isRetracted "false" @default.
- W3007204077 magId "3007204077" @default.
- W3007204077 workType "article" @default.