FRINK Linked Data Fragments server

Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W3144098380> ?p ?o ?g. }

• W3144098380 endingPage "1867" @default.
• W3144098380 startingPage "1862" @default.
• W3144098380 abstract "在这研究，在用 dichlorosilane (SiH2Cl2 ) 的一个减少的压力化学药品蒸汽免职系统的 SiGe 的生长动力学并且适切(GeH4 ) 作为 Si 和 Ge，先锋被调查。SiGe 生长率和 Ge 内容被发现取决于免职温度， GeH4 流动和反应堆房间压力。SiGe 生长率与增加免职温度增强，当 Ge 内容被减少时。SiGe 生长率与增加 GeH4 流动加速，当 Ge 内容更慢慢地增加时。根据试验性的数据，在 Ge 内容(x) 和 F (GeH4 ) 之间的一种新关系 /F (SiH2Cl2 ) 质量流动比率被推出：x 2.5/(1x )= nF (GeH4 )/F (SiH2Cl2 ) 。SiGe 生长率和 Ge 内容与增加反应堆房间压力改善。由选择合适的先锋流动和反应堆压力，有一样的 Ge 的 SiGe 电影满足能在各种各样的温度被制作。然而， SiGe 晶体的质量清楚地依赖于免职温度。在更低的免职温度，更高水晶的质量被完成。因为生长率戏剧性地与更低的温度落下，最佳生长温度一定是在水晶的质量和生长率之间的妥协。X 光检查衍射，拉曼散布光谱学和原子力量显微镜学结果显示那 650 湩牥污 ? 桳畯摬愠汬戠 ? 慴敫 ? 湩潴愠捣畯瑮琠? 硥汰楡? 桴 ? 慶楲瑡潩獮漠 ?慭湧瑥捩瀠牡浡瑥牥 s" @default.
• W3144098380 created "2021-04-13" @default.
• W3144098380 creator A5001978013 @default.
• W3144098380 creator A5005035346 @default.
• W3144098380 creator A5006579524 @default.
• W3144098380 creator A5010716224 @default.
• W3144098380 creator A5017454066 @default.
• W3144098380 creator A5022916750 @default.
• W3144098380 creator A5025879011 @default.
• W3144098380 creator A5029413790 @default.
• W3144098380 creator A5032245741 @default.
• W3144098380 creator A5041967787 @default.
• W3144098380 creator A5046113645 @default.
• W3144098380 creator A5060073997 @default.
• W3144098380 creator A5060325427 @default.
• W3144098380 creator A5066311374 @default.
• W3144098380 creator A5068607867 @default.
• W3144098380 creator A5088156357 @default.
• W3144098380 creator A5091690586 @default.
• W3144098380 date "2012-01-01" @default.
• W3144098380 modified "2023-09-24" @default.
• W3144098380 title "Fabrication of high quality strained SiGe on Si substrate by RPCVD" @default.
• W3144098380 hasPublicationYear "2012" @default.
• W3144098380 type Work @default.
• W3144098380 sameAs 3144098380 @default.
• W3144098380 citedByCount "1" @default.
• W3144098380 countsByYear W31440983802015 @default.
• W3144098380 crossrefType "journal-article" @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5001978013 @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5005035346 @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5006579524 @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5010716224 @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5017454066 @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5022916750 @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5025879011 @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5029413790 @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5032245741 @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5041967787 @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5046113645 @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5060073997 @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5060325427 @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5066311374 @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5068607867 @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5088156357 @default.
• W3144098380 hasAuthorship W3144098380A5091690586 @default.
• W3144098380 hasConcept C111368507 @default.
• W3144098380 hasConcept C121332964 @default.
• W3144098380 hasConcept C127313418 @default.
• W3144098380 hasConcept C136525101 @default.
• W3144098380 hasConcept C142724271 @default.
• W3144098380 hasConcept C192562407 @default.
• W3144098380 hasConcept C204787440 @default.
• W3144098380 hasConcept C2777289219 @default.
• W3144098380 hasConcept C2779523567 @default.
• W3144098380 hasConcept C2779530757 @default.
• W3144098380 hasConcept C2780389399 @default.
• W3144098380 hasConcept C49040817 @default.
• W3144098380 hasConcept C544956773 @default.
• W3144098380 hasConcept C550623735 @default.
• W3144098380 hasConcept C62520636 @default.
• W3144098380 hasConcept C71924100 @default.
• W3144098380 hasConceptScore W3144098380C111368507 @default.
• W3144098380 hasConceptScore W3144098380C121332964 @default.
• W3144098380 hasConceptScore W3144098380C127313418 @default.
• W3144098380 hasConceptScore W3144098380C136525101 @default.
• W3144098380 hasConceptScore W3144098380C142724271 @default.
• W3144098380 hasConceptScore W3144098380C192562407 @default.
• W3144098380 hasConceptScore W3144098380C204787440 @default.
• W3144098380 hasConceptScore W3144098380C2777289219 @default.
• W3144098380 hasConceptScore W3144098380C2779523567 @default.
• W3144098380 hasConceptScore W3144098380C2779530757 @default.
• W3144098380 hasConceptScore W3144098380C2780389399 @default.
• W3144098380 hasConceptScore W3144098380C49040817 @default.
• W3144098380 hasConceptScore W3144098380C544956773 @default.
• W3144098380 hasConceptScore W3144098380C550623735 @default.
• W3144098380 hasConceptScore W3144098380C62520636 @default.
• W3144098380 hasConceptScore W3144098380C71924100 @default.
• W3144098380 hasIssue "15" @default.
• W3144098380 hasLocation W31440983801 @default.
• W3144098380 hasOpenAccess W3144098380 @default.
• W3144098380 hasPrimaryLocation W31440983801 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W1469266824 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W2030396719 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W2091623881 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W2171970939 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W2312488169 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W2411063294 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W2486317116 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W2597876683 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W2602651440 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W2612984179 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W2974463319 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W3034184016 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W3114177268 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W3120016732 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W3142656257 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W3150770505 @default.
• W3144098380 hasRelatedWork W3156466929 @default.

• next