Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W3217079596> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 42 of
42
with 100 items per page.
- W3217079596 abstract "Проведена оценка методической погрешности измерений геометрических параметров объектов методом дефокусировки электронного зонда растрового электронного микроскопа, обусловленной зависимостью результата измерений от параметров зонда. Показано, что эта погрешность может быть уменьшена путемвыбора оптимальных параметров зонда, при которых реальные условия измерений в наилучшей степени соответствуют требованиям расчетной модели.An estimation of methodological error of object geometrical parameters measurementsusing the scanning electron microscope (SEM) electron probe defocusing method was carried out. This error caused by the dependence of measurement result on the probe parameters. It is shown that this error can be reduced to the loved of random error by choosing of optimal parameters of the probe." @default.
- W3217079596 created "2021-12-06" @default.
- W3217079596 creator A5005586500 @default.
- W3217079596 creator A5011460774 @default.
- W3217079596 creator A5046069240 @default.
- W3217079596 creator A5048398090 @default.
- W3217079596 creator A5052916276 @default.
- W3217079596 creator A5076124310 @default.
- W3217079596 date "2012-01-01" @default.
- W3217079596 modified "2023-09-27" @default.
- W3217079596 title "ВЫБОР ОПТИМАЛЬНЫХ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОННОГО ЗОНДА РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПАПРИ ИЗМЕРЕНИИ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ОБЪЕКТОВ МЕТОДОМ ДЕФОКУСИРОВКИ ЗОНДА" @default.
- W3217079596 hasPublicationYear "2012" @default.
- W3217079596 type Work @default.
- W3217079596 sameAs 3217079596 @default.
- W3217079596 citedByCount "0" @default.
- W3217079596 crossrefType "journal-article" @default.
- W3217079596 hasAuthorship W3217079596A5005586500 @default.
- W3217079596 hasAuthorship W3217079596A5011460774 @default.
- W3217079596 hasAuthorship W3217079596A5046069240 @default.
- W3217079596 hasAuthorship W3217079596A5048398090 @default.
- W3217079596 hasAuthorship W3217079596A5052916276 @default.
- W3217079596 hasAuthorship W3217079596A5076124310 @default.
- W3217079596 hasConcept C105795698 @default.
- W3217079596 hasConcept C120665830 @default.
- W3217079596 hasConcept C121332964 @default.
- W3217079596 hasConcept C19619285 @default.
- W3217079596 hasConcept C33923547 @default.
- W3217079596 hasConcept C73782692 @default.
- W3217079596 hasConceptScore W3217079596C105795698 @default.
- W3217079596 hasConceptScore W3217079596C120665830 @default.
- W3217079596 hasConceptScore W3217079596C121332964 @default.
- W3217079596 hasConceptScore W3217079596C19619285 @default.
- W3217079596 hasConceptScore W3217079596C33923547 @default.
- W3217079596 hasConceptScore W3217079596C73782692 @default.
- W3217079596 hasIssue "8" @default.
- W3217079596 hasLocation W32170795961 @default.
- W3217079596 hasOpenAccess W3217079596 @default.
- W3217079596 hasPrimaryLocation W32170795961 @default.
- W3217079596 isParatext "false" @default.
- W3217079596 isRetracted "false" @default.
- W3217079596 magId "3217079596" @default.
- W3217079596 workType "article" @default.