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• W352595400 abstract "L'utilisation croissante de MEMS dans des applications dont le mauvais fonctionnement aurait un impact important sur la securite ou la vie des personnes a accelere le besoin de methodes robustes de test. Les mecanismes de defaillance et les dynamiques de MEMS sont complexes et plus souvent mal compris. C'est du a leur nature multi-physique qui les rend complexes pour la conception et le test. La fabrication en outre est compliquee par le besoin de nouvelles etapes de fabrication en particulier quand des techniques de System-in-Package (SiP) sont employees. Ces techniques d'encapsulation posent beaucoup de problemes de test. Dans ce secteur, les techniques de BIST des circuits analogiques et mixtes ont attire un interet industriel considerable pour aider a reduire les difficultes de test. Dans cette these nous proposons un BIST fonctionnel pseudo-aleatoire pour MEMS. Nous presentons l'utilisation des impulsions electriques pseudo-aleatoires qui ont l'avantage d'etre facilement produit sur-puce. Nous montrons comment differents types de stimuli pseudo-aleatoires peuvent etre exploites en vue de BIST pour les MEMS lineaires et non lineaires. En general, nous prouvons que les sequences pseudo-aleatoires a deux niveaux sont suffisantes pour examiner les MEMS lineaires et non lineaires. En outre, alors que les sequences a deux niveaux sont suffisantes pour caracteriser les MEMS lineaires, nous decrivons comment l'utilisation des sequences pseudo-aleatoires a multi niveaux est necessaire pour la caracterisation des MEMS non lineaires. La reponse de test est digitalisee en utilisant un CAN integre et autotestable, et un circuit numerique simple vient apres pour calculer des echantillons de la reponse impulsionnelle de MEMS lineaire, ou des echantillons du noyau de Volterra de MEMS non lineaire. Apres, ces echantillons (appeles signature de test) sont compares avec leurs intervalles de tolerance et finalement un signal binaire est produit par le BIST pour indiquer si le MEMS a passe ou echoue le test. Nous employons les simulations Monte Carlo pour deriver les intervalles de tolerance de la signature de test. Les simulations Monte Carlo sont egalement employees pour former la signature de test en effectuant une analyse de sensibilite, et pour injecter les variations parametriques pour calculer les metriques de test et optimiser les parametres de conception du BIST pseudo-aleatoire. Nous avons applique le BIST pseudo-aleatoire pour des MEMS tel que les accelerometres commercialises et des micropoutres fabriquees au sein du Group RMS. Des resultats experimentaux satisfaisants ont ete obtenus." @default.
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