FRINK Linked Data Fragments server

Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W4291895922> ?p ?o ?g. }

• W4291895922 endingPage "29" @default.
• W4291895922 startingPage "18" @default.
• W4291895922 abstract "Уровень технологий фотолитографии и оборудования для их реализации является определяющим критерием достижения требуемых проектных норм в микроэлектронике, радиоэлектронике, оптике и микроэлектромеханических системах. Работа связана с разработкой аппаратного состава системы управления автоматизированной технологической установкой нанесения фоторезиста, выполненной в кластерном конструктивном исполнении с контролируемой газовой средой, а также созданием пакета её программного обеспечения. В соответствии с разработанными алгоритмами управления, разрядными сетками обработки команд и сигналов датчиков, а также циклограммами работы на каждый модуль и установку в целом был создан пакет программного обеспечения, предназначенный для управления узлами и модулями автоматизированной установки нанесения фоторезиста УНФ -200А, логирования в базу технических характеристик узлов и модулей, а также показателей технологического процесса для мониторинга этих значений на экране. Программа состоит из нескольких главных модулей, а именно: модулей транспорта, термообработки, термостабилизации, загрузчика, приёмника, нанесения, а также вспомогательных модулей: работа с базой данных, вывод показателей, логирование, взаимодействие с промышленными логическими контроллерами и обработка ошибок. Разработанное программное обеспечение отрабатывает ряд блокировок, введённых во избежание не предусмотренной регламентом обработки подложек, а также для выхода из строя модулей установки или причинения вреда здоровью обслуживающего персонала. Интерфейс программного обеспечения имеет средства вывода сообщения о срабатывании блокировок, а также способы снятия блокировок The level of photolithography technologies and equipment for their implementation is a determining criterion for achieving the required design standards in microelectronics, radioelectronics, optics and microelectromechanical systems. The work is related to the development of the hardware composition of the control system of the automated technological installation for applying photoresist, made in a cluster design with a controlled gas medium, as well as the creation of a package of its software. In accordance with the developed control algorithms, command and sensor signal processing bit grids, as well as operation cyclograms for each module and installation as a whole, a software package was created to control the units and modules of the automated installation of application of the UNF photoresist -200A, logic to the database of technical characteristics of units and modules, as well as process indicators for monitoring these values on the screen. The program consists of several main modules, namely: transport, heat treatment, thermal stabilization, loader, receiver, application, as well as auxiliary modules: database operation, indicator output, logic, interaction with industrial logic controllers and error processing. The developed software works out a number of interlocks introduced to avoid non-scheduled processing of substrates, as well as to fail the installation modules or harm the health of maintenance personnel. The software interface has means of displaying a message about the interlock actuation, as well as methods of unlocking" @default.
• W4291895922 created "2022-08-16" @default.
• W4291895922 creator A5030458992 @default.
• W4291895922 creator A5069351899 @default.
• W4291895922 date "2022-08-15" @default.
• W4291895922 modified "2023-10-16" @default.
• W4291895922 title "DEVELOPMENT OF SOFTWARE FOR AUTOMATED PHOTORESIST APPLICATION UNIT" @default.
• W4291895922 doi "https://doi.org/10.36622/vstu.2022.18.3.002" @default.
• W4291895922 hasPublicationYear "2022" @default.
• W4291895922 type Work @default.
• W4291895922 citedByCount "0" @default.
• W4291895922 crossrefType "journal-article" @default.
• W4291895922 hasAuthorship W4291895922A5030458992 @default.
• W4291895922 hasAuthorship W4291895922A5069351899 @default.
• W4291895922 hasConcept C111919701 @default.
• W4291895922 hasConcept C113843644 @default.
• W4291895922 hasConcept C119599485 @default.
• W4291895922 hasConcept C127413603 @default.
• W4291895922 hasConcept C129307140 @default.
• W4291895922 hasConcept C149635348 @default.
• W4291895922 hasConcept C157915830 @default.
• W4291895922 hasConcept C200601418 @default.
• W4291895922 hasConcept C2776350369 @default.
• W4291895922 hasConcept C2777904410 @default.
• W4291895922 hasConcept C41008148 @default.
• W4291895922 hasConcept C81988521 @default.
• W4291895922 hasConcept C9390403 @default.
• W4291895922 hasConcept C98045186 @default.
• W4291895922 hasConcept C99535591 @default.
• W4291895922 hasConceptScore W4291895922C111919701 @default.
• W4291895922 hasConceptScore W4291895922C113843644 @default.
• W4291895922 hasConceptScore W4291895922C119599485 @default.
• W4291895922 hasConceptScore W4291895922C127413603 @default.
• W4291895922 hasConceptScore W4291895922C129307140 @default.
• W4291895922 hasConceptScore W4291895922C149635348 @default.
• W4291895922 hasConceptScore W4291895922C157915830 @default.
• W4291895922 hasConceptScore W4291895922C200601418 @default.
• W4291895922 hasConceptScore W4291895922C2776350369 @default.
• W4291895922 hasConceptScore W4291895922C2777904410 @default.
• W4291895922 hasConceptScore W4291895922C41008148 @default.
• W4291895922 hasConceptScore W4291895922C81988521 @default.
• W4291895922 hasConceptScore W4291895922C9390403 @default.
• W4291895922 hasConceptScore W4291895922C98045186 @default.
• W4291895922 hasConceptScore W4291895922C99535591 @default.
• W4291895922 hasIssue "3(-)" @default.
• W4291895922 hasLocation W42918959221 @default.
• W4291895922 hasOpenAccess W4291895922 @default.
• W4291895922 hasPrimaryLocation W42918959221 @default.
• W4291895922 hasRelatedWork W2201606205 @default.
• W4291895922 hasRelatedWork W2355671153 @default.
• W4291895922 hasRelatedWork W2355839849 @default.
• W4291895922 hasRelatedWork W2363238152 @default.
• W4291895922 hasRelatedWork W2364433760 @default.
• W4291895922 hasRelatedWork W2367020524 @default.
• W4291895922 hasRelatedWork W2380633233 @default.
• W4291895922 hasRelatedWork W2387186277 @default.
• W4291895922 hasRelatedWork W2393801835 @default.
• W4291895922 hasRelatedWork W2978757589 @default.
• W4291895922 isParatext "false" @default.
• W4291895922 isRetracted "false" @default.
• W4291895922 workType "article" @default.