FRINK Linked Data Fragments server

Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W4376103471> ?p ?o ?g. }

• W4376103471 abstract "We have conducted the research work on X-ray projection lithography and have already demonstrated a 0.5 µm replicated pattern using a reflection mask. To obtain smaller features, we have designed a Schwarzschild typed demagnifying objective with a numerical aperture size of 0.1 and fabricated a Mo/B 4 C multilayer very precisely on its optics." @default.
• W4376103471 created "2023-05-12" @default.
• W4376103471 creator A5008153689 @default.
• W4376103471 creator A5018497095 @default.
• W4376103471 creator A5022094077 @default.
• W4376103471 creator A5028409128 @default.
• W4376103471 creator A5038291702 @default.
• W4376103471 creator A5044049628 @default.
• W4376103471 creator A5083319280 @default.
• W4376103471 date "1991-01-01" @default.
• W4376103471 modified "2023-10-14" @default.
• W4376103471 title "Soft X-ray reduction lithography using a reflection mask" @default.
• W4376103471 cites W1977538383 @default.
• W4376103471 cites W1978143552 @default.
• W4376103471 cites W2075903689 @default.
• W4376103471 doi "https://doi.org/10.1364/sxray.1991.wd2" @default.
• W4376103471 hasPublicationYear "1991" @default.
• W4376103471 type Work @default.
• W4376103471 citedByCount "0" @default.
• W4376103471 crossrefType "proceedings-article" @default.
• W4376103471 hasAuthorship W4376103471A5008153689 @default.
• W4376103471 hasAuthorship W4376103471A5018497095 @default.
• W4376103471 hasAuthorship W4376103471A5022094077 @default.
• W4376103471 hasAuthorship W4376103471A5028409128 @default.
• W4376103471 hasAuthorship W4376103471A5038291702 @default.
• W4376103471 hasAuthorship W4376103471A5044049628 @default.
• W4376103471 hasAuthorship W4376103471A5083319280 @default.
• W4376103471 hasConcept C105487726 @default.
• W4376103471 hasConcept C111335779 @default.
• W4376103471 hasConcept C11413529 @default.
• W4376103471 hasConcept C118524077 @default.
• W4376103471 hasConcept C120665830 @default.
• W4376103471 hasConcept C121332964 @default.
• W4376103471 hasConcept C136525101 @default.
• W4376103471 hasConcept C142724271 @default.
• W4376103471 hasConcept C159108749 @default.
• W4376103471 hasConcept C162996421 @default.
• W4376103471 hasConcept C163581340 @default.
• W4376103471 hasConcept C171250308 @default.
• W4376103471 hasConcept C192562407 @default.
• W4376103471 hasConcept C199360897 @default.
• W4376103471 hasConcept C200274948 @default.
• W4376103471 hasConcept C204223013 @default.
• W4376103471 hasConcept C204787440 @default.
• W4376103471 hasConcept C24890656 @default.
• W4376103471 hasConcept C2524010 @default.
• W4376103471 hasConcept C2779227376 @default.
• W4376103471 hasConcept C33923547 @default.
• W4376103471 hasConcept C41008148 @default.
• W4376103471 hasConcept C41794268 @default.
• W4376103471 hasConcept C49040817 @default.
• W4376103471 hasConcept C53524968 @default.
• W4376103471 hasConcept C57493831 @default.
• W4376103471 hasConcept C6260449 @default.
• W4376103471 hasConcept C65682993 @default.
• W4376103471 hasConcept C71924100 @default.
• W4376103471 hasConcept C78336883 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C105487726 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C111335779 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C11413529 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C118524077 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C120665830 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C121332964 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C136525101 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C142724271 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C159108749 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C162996421 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C163581340 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C171250308 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C192562407 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C199360897 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C200274948 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C204223013 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C204787440 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C24890656 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C2524010 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C2779227376 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C33923547 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C41008148 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C41794268 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C49040817 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C53524968 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C57493831 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C6260449 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C65682993 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C71924100 @default.
• W4376103471 hasConceptScore W4376103471C78336883 @default.
• W4376103471 hasLocation W43761034711 @default.
• W4376103471 hasOpenAccess W4376103471 @default.
• W4376103471 hasPrimaryLocation W43761034711 @default.
• W4376103471 hasRelatedWork W197482828 @default.
• W4376103471 hasRelatedWork W2015153381 @default.
• W4376103471 hasRelatedWork W2057020889 @default.
• W4376103471 hasRelatedWork W2064437771 @default.
• W4376103471 hasRelatedWork W2065800609 @default.
• W4376103471 hasRelatedWork W2068084517 @default.
• W4376103471 hasRelatedWork W2071890585 @default.
• W4376103471 hasRelatedWork W2109390985 @default.
• W4376103471 hasRelatedWork W2173254501 @default.
• W4376103471 hasRelatedWork W4251098496 @default.

• next