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- W565794517 abstract "Ces dernieres decennies ont vu l'emergence des microsystemes electromecaniques (MEMS) grâce notamment aux techniques de fabrication employees dans l'elaboration des transistors. L'utilisation de differentes proprietes physiques (electroniques, mecaniques, optiques par exemple) a permis la construction d'un large panel de capteurs miniaturises. Resultant de la miniaturisation sub-micrometrique des MEMS, les nanosystemes electromecaniques (NEMS) constituent un tout nouveau type d'objet permettant d'adresser des applications necessitant un tres haut niveau de sensibilite et de resolution, comme la detection de gaz, la spectrometrie de masse ou la reconnaissance de molecules faisant traditionnellement appel a des machines tres volumineuses. L'utilisation de ces NEMS requiert cependant un circuit electronique CMOS afin de lire et d'exploiter le signal en sortie de resonateur et servant egalement a la mise en place d'une boucle oscillante (boucle a verrouillage de phase ou boucle auto oscillante par exemple), architecture ideale pour la detection de masse en temps reel. L'integration du circuit CMOS avec les resonateurs NEMS constitue un aspect critique quant a la fabrication de capteurs de haute performance. La solution optimale consiste a integrer de maniere monolithique ces deux parties sur la meme puce, permettant ainsi de reduire la dimension du capteur et d'ameliorer la transmission du signal electrique entre les resonateurs et le circuit CMOS. Cette these propose dans un premier temps d'analyser l'interet de cette co-integration du point de vue electrique. Dans un second temps, cette these portera sur le developpement d'une approche originale visant a co-integrer de maniere monolithique les nano resonateurs au-dessus du circuit CMOS et des interconnexions. La derniere partie portera sur le design d'un detecteur de masse compose d'un reseau compact de NEMS co-integre CMOS." @default.
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