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- W612342824 abstract "Ce travail presente les resultats relatifs a l'etude d'un procede original de depot de couches minces. Celui-ci repose sur la projection de particules transportees par un jet gazeux turbulent, sur un substrat chaud ou elles subissent une transformation chimique donnant naissance a un depot uniforme et adherent. Le rendement global du procede depend de plusieurs processus couples: hydrodynamique (ecoulement du gaz vecteur et des particules), transferts de chaleur et de matiere (gaz-particules-substrat) et caracteristiques chimiques des reactions. Une des originalites du travail est d'etudier chacun de ces facteurs de maniere successive et independante afin d'en determiner leur importance relative et d'identifier les etapes limitantes. L’etude est, de ce fait, menee en 3 etapes: maquettes froide, tiede et chaude. Les deux premieres, effectuees avec des solides modeles, ont notamment permis de determiner l'histoire thermique des particules. La derniere est realisee en impulsionnel puis en continu avec des particules susceptibles de donner effectivement naissance a une couche mince. Un modele est finalement propose pour rendre compte et prevoir de facon tres satisfaisante l'epaisseur du depot et le rendement du procede" @default.
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