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- W642769723 abstract "Les domaines du genie biologique et medicale sont consideres, a terme, comme l'un des secteurs privilegies d'application des microsystemes. Le sujet de these consiste en la conception et la realisation d'une unite d'analyse chimique comprenant une micropompe actionnee par une resistance thermique dont le role est de permettre l'acheminement d'un fluide vers un multi-capteur d'analyse physico-chimique (pression, ISFET, temperature,...). Le projet europeen Barmint (1) nous sert de support dans la conception et la realisation d'un demonstrateur integrant notamment les composants ci-dessus. L'originalite d'un tel procede est de realiser, sur un meme substrat de silicium poli double face, une membrane (micro-usinee grâce a une solution chimique) et de deux microvalves a sens unique qui controlent l'entree et la sortie du fluide. Ces valves sont obtenues apres depots LPCVD et gravures par plasma du silicium polycristallin. Nous aborderons en details toutes les etapes technologiques de realisation de la micropompe et des microvalves. Nous nous interesserons surtout aux problemes de compatibilites de ces technologies avec les techniques VLSI. La realisation d'un demonstrateur sera presentee. Les aspects simulations et modelisations thermiques et mecaniques de la micropompe seront abordes pour l'optimisation . Ce travail ouvre des perspectives quant a la conception et la realisation de futurs microsystemes pour des applications spatiales, medicales." @default.
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