Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W70498598> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 75 of
75
with 100 items per page.
- W70498598 abstract "High-power laser radiation is used in microelectronic technology for purposes such as annealing radiation defects in MOS structures after ion implantation. This paper considers accumulated changes in electrical characteristics of metal-nitride-oxide-semiconductor (MNOS) structures under the action of neodymium laser pulses with an energy density below the visible damage threshold. The experimental results obtained are interpreted." @default.
- W70498598 created "2016-06-24" @default.
- W70498598 creator A5061181795 @default.
- W70498598 creator A5071119993 @default.
- W70498598 date "1986-09-01" @default.
- W70498598 modified "2023-09-27" @default.
- W70498598 title "Effect of high-power laser radiation on characteristics of thin silicon nitride films" @default.
- W70498598 hasPublicationYear "1986" @default.
- W70498598 type Work @default.
- W70498598 sameAs 70498598 @default.
- W70498598 citedByCount "0" @default.
- W70498598 crossrefType "journal-article" @default.
- W70498598 hasAuthorship W70498598A5061181795 @default.
- W70498598 hasAuthorship W70498598A5071119993 @default.
- W70498598 hasConcept C108225325 @default.
- W70498598 hasConcept C120665830 @default.
- W70498598 hasConcept C121332964 @default.
- W70498598 hasConcept C153385146 @default.
- W70498598 hasConcept C171250308 @default.
- W70498598 hasConcept C187937830 @default.
- W70498598 hasConcept C191897082 @default.
- W70498598 hasConcept C192562407 @default.
- W70498598 hasConcept C194760766 @default.
- W70498598 hasConcept C2777431650 @default.
- W70498598 hasConcept C2777855556 @default.
- W70498598 hasConcept C2778871202 @default.
- W70498598 hasConcept C2779227376 @default.
- W70498598 hasConcept C49040817 @default.
- W70498598 hasConcept C520434653 @default.
- W70498598 hasConcept C540262125 @default.
- W70498598 hasConcept C544956773 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C108225325 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C120665830 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C121332964 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C153385146 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C171250308 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C187937830 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C191897082 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C192562407 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C194760766 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C2777431650 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C2777855556 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C2778871202 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C2779227376 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C49040817 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C520434653 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C540262125 @default.
- W70498598 hasConceptScore W70498598C544956773 @default.
- W70498598 hasLocation W704985981 @default.
- W70498598 hasOpenAccess W70498598 @default.
- W70498598 hasPrimaryLocation W704985981 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W1575381625 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W1590215283 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W1718688876 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W1985349196 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W1990746486 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W1993716367 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W1994883729 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W1996901679 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W2002281998 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W2014809759 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W2026402121 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W2061289283 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W2076497863 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W2082204314 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W2089044764 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W2094434669 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W2146898393 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W2169479071 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W3137214278 @default.
- W70498598 hasRelatedWork W2137516230 @default.
- W70498598 isParatext "false" @default.
- W70498598 isRetracted "false" @default.
- W70498598 magId "70498598" @default.
- W70498598 workType "article" @default.