Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W772176182> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 80 of
80
with 100 items per page.
- W772176182 endingPage "407" @default.
- W772176182 startingPage "403" @default.
- W772176182 abstract "Extreme ultraviolet (EUV) covers wavelength range from about 5 nm to 50 nm. That is why EUV isespeciallyapplicableforimagingandpatterningonnanometerscalelength. Inthepaperperiodicnanopatterningrealized by interference lithography and high resolution holographic nanoimaging performed in a Gabor in-lineschemearepresented. IntheexperimentsacompacttabletopEUVlaserwasused. PreliminarystudiesonusingalaserplasmaEUVsourcefornanoimagingarepresentedaswell.PACSnumbers:42.25.Hz,42.40.Ht,42.40." @default.
- W772176182 created "2016-06-24" @default.
- W772176182 creator A5016518066 @default.
- W772176182 creator A5019564350 @default.
- W772176182 creator A5043942038 @default.
- W772176182 creator A5055515591 @default.
- W772176182 creator A5055523072 @default.
- W772176182 creator A5087522946 @default.
- W772176182 date "2010-02-01" @default.
- W772176182 modified "2023-10-18" @default.
- W772176182 title "Imaging and Patterning on Nanometer Scale Using Coherent EUV Light" @default.
- W772176182 cites W1965618544 @default.
- W772176182 cites W1973920755 @default.
- W772176182 cites W1990098652 @default.
- W772176182 cites W1994325326 @default.
- W772176182 cites W2008739391 @default.
- W772176182 cites W2010514760 @default.
- W772176182 cites W2012910990 @default.
- W772176182 cites W2040472539 @default.
- W772176182 cites W2054663801 @default.
- W772176182 cites W2075365289 @default.
- W772176182 cites W2078629230 @default.
- W772176182 cites W2156982878 @default.
- W772176182 cites W2163719425 @default.
- W772176182 cites W2167834206 @default.
- W772176182 cites W2994957380 @default.
- W772176182 cites W563714208 @default.
- W772176182 doi "https://doi.org/10.12693/aphyspola.117.403" @default.
- W772176182 hasPublicationYear "2010" @default.
- W772176182 type Work @default.
- W772176182 sameAs 772176182 @default.
- W772176182 citedByCount "1" @default.
- W772176182 countsByYear W7721761822013 @default.
- W772176182 crossrefType "journal-article" @default.
- W772176182 hasAuthorship W772176182A5016518066 @default.
- W772176182 hasAuthorship W772176182A5019564350 @default.
- W772176182 hasAuthorship W772176182A5043942038 @default.
- W772176182 hasAuthorship W772176182A5055515591 @default.
- W772176182 hasAuthorship W772176182A5055523072 @default.
- W772176182 hasAuthorship W772176182A5087522946 @default.
- W772176182 hasBestOaLocation W7721761821 @default.
- W772176182 hasConcept C120665830 @default.
- W772176182 hasConcept C121332964 @default.
- W772176182 hasConcept C162996421 @default.
- W772176182 hasConcept C171250308 @default.
- W772176182 hasConcept C192562407 @default.
- W772176182 hasConcept C2778755073 @default.
- W772176182 hasConcept C45206210 @default.
- W772176182 hasConcept C62520636 @default.
- W772176182 hasConcept C77066764 @default.
- W772176182 hasConceptScore W772176182C120665830 @default.
- W772176182 hasConceptScore W772176182C121332964 @default.
- W772176182 hasConceptScore W772176182C162996421 @default.
- W772176182 hasConceptScore W772176182C171250308 @default.
- W772176182 hasConceptScore W772176182C192562407 @default.
- W772176182 hasConceptScore W772176182C2778755073 @default.
- W772176182 hasConceptScore W772176182C45206210 @default.
- W772176182 hasConceptScore W772176182C62520636 @default.
- W772176182 hasConceptScore W772176182C77066764 @default.
- W772176182 hasIssue "2" @default.
- W772176182 hasLocation W7721761821 @default.
- W772176182 hasOpenAccess W772176182 @default.
- W772176182 hasPrimaryLocation W7721761821 @default.
- W772176182 hasRelatedWork W1570323836 @default.
- W772176182 hasRelatedWork W1971971445 @default.
- W772176182 hasRelatedWork W1989563632 @default.
- W772176182 hasRelatedWork W1998629681 @default.
- W772176182 hasRelatedWork W2003596345 @default.
- W772176182 hasRelatedWork W2063934921 @default.
- W772176182 hasRelatedWork W2083153456 @default.
- W772176182 hasRelatedWork W2091683697 @default.
- W772176182 hasRelatedWork W2951087068 @default.
- W772176182 hasRelatedWork W3193996644 @default.
- W772176182 hasVolume "117" @default.
- W772176182 isParatext "false" @default.
- W772176182 isRetracted "false" @default.
- W772176182 magId "772176182" @default.
- W772176182 workType "article" @default.