Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W797858> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 78 of
78
with 100 items per page.
- W797858 endingPage "174" @default.
- W797858 startingPage "169" @default.
- W797858 abstract "X線光電子分光法(XPS)における分析深さは,光電子の平均自由行程に依存する.光電子の平均自由行程はその運動エネルギーによって決まることから,放射光のようなエネルギー可変の励起源を用いた場合,分析深さは励起エネルギーに伴って変化する.これらの関係から,放射光を励起源として用いることによって,従来困難であったXPSの非破壊的な深さ方向分析への応用が可能になることが考えられる.本研究では,通常より励起エネルギーの高い1.8~6.0keVの放射光を励起源とするX線光電子分光装置を試作した.この装置を用い,(1)均一な厚みを持つSi(100)表面のSiO2薄膜の膜厚測定,及び(2)深さ方向に不均一な濃度分布を持つ,10keV,O2+イオン注入したSi(100)の深さ方向分析を試みた.それぞれの試料についてSiとSiO2の光電子強度(Si ls)を種々の励起エネルギーで測定することにより,±5%以内の精度でのSiO2薄膜の膜厚測定及びSiO2の深さプロフィル測定が可能であることが明らかとなった." @default.
- W797858 created "2016-06-24" @default.
- W797858 creator A5031016926 @default.
- W797858 creator A5053258804 @default.
- W797858 creator A5077027962 @default.
- W797858 date "1996-01-01" @default.
- W797858 modified "2023-09-25" @default.
- W797858 title "Application of high-energy synchrotron-radiation X-ray photoelectron spectroscopy to the depth profile analysis of oxide layer on Si(100) surfaces." @default.
- W797858 cites W2111937898 @default.
- W797858 doi "https://doi.org/10.2116/bunsekikagaku.45.169" @default.
- W797858 hasPublicationYear "1996" @default.
- W797858 type Work @default.
- W797858 sameAs 797858 @default.
- W797858 citedByCount "1" @default.
- W797858 crossrefType "journal-article" @default.
- W797858 hasAuthorship W797858A5031016926 @default.
- W797858 hasAuthorship W797858A5053258804 @default.
- W797858 hasAuthorship W797858A5077027962 @default.
- W797858 hasBestOaLocation W7978581 @default.
- W797858 hasConcept C113196181 @default.
- W797858 hasConcept C120665830 @default.
- W797858 hasConcept C121332964 @default.
- W797858 hasConcept C143481972 @default.
- W797858 hasConcept C153385146 @default.
- W797858 hasConcept C16332341 @default.
- W797858 hasConcept C171250308 @default.
- W797858 hasConcept C175708663 @default.
- W797858 hasConcept C185592680 @default.
- W797858 hasConcept C186370098 @default.
- W797858 hasConcept C191897082 @default.
- W797858 hasConcept C192562407 @default.
- W797858 hasConcept C2779227376 @default.
- W797858 hasConcept C2779328170 @default.
- W797858 hasConcept C2779851234 @default.
- W797858 hasConcept C32891209 @default.
- W797858 hasConcept C43617362 @default.
- W797858 hasConcept C46141821 @default.
- W797858 hasConcept C62520636 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C113196181 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C120665830 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C121332964 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C143481972 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C153385146 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C16332341 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C171250308 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C175708663 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C185592680 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C186370098 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C191897082 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C192562407 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C2779227376 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C2779328170 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C2779851234 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C32891209 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C43617362 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C46141821 @default.
- W797858 hasConceptScore W797858C62520636 @default.
- W797858 hasIssue "2" @default.
- W797858 hasLocation W7978581 @default.
- W797858 hasOpenAccess W797858 @default.
- W797858 hasPrimaryLocation W7978581 @default.
- W797858 hasRelatedWork W1983418043 @default.
- W797858 hasRelatedWork W2024808942 @default.
- W797858 hasRelatedWork W2029387868 @default.
- W797858 hasRelatedWork W2036498669 @default.
- W797858 hasRelatedWork W2284127804 @default.
- W797858 hasRelatedWork W2415863306 @default.
- W797858 hasRelatedWork W2601139368 @default.
- W797858 hasRelatedWork W4206894878 @default.
- W797858 hasRelatedWork W4239036730 @default.
- W797858 hasRelatedWork W4321517186 @default.
- W797858 hasVolume "45" @default.
- W797858 isParatext "false" @default.
- W797858 isRetracted "false" @default.
- W797858 magId "797858" @default.
- W797858 workType "article" @default.